OPTISCHE MESSGERÄTE Messmikroskope HYPER MF/MF-U PR1438(2)
2 Die Prüfung komplexer, immer kleiner werdender Mikrostrukturen verlangt von Messmikroskopen, die nach dem Prinzip „Beobachten plus Messen“ in der Fertigung und Qualitätskontrolle eingesetzt werden, eine immer höhere Genauigkeit. Mitutoyo hat es sich zur Aufgabe gemacht, Mikroskope anzubieten, die diesen Anforderungen gerecht werden und die Erwartungen der Anwender in Bezug auf durchdachte Funktionalität und ergonomische Eigenschaften, die ein ermüdungsfreies Arbeiten über längere Zeiträume ermöglichen, übertreffen. Mitutoyo hat über viele Jahre hinweg wesentliche Beiträge zu der Technologie geleistet, die für die Weiterentwicklung der Fertigungsindustrie entscheidend ist: das Messen. Die gewonnene Erfahrung und Kompetenz spiegeln sich in der Konstruktion und Fertigung jeder einzelnen Komponente dieser Mikroskope wider und zeigen sich am deutlichsten in der exzellenten Integration von Optik, Mechanik und Elektronik. Mit ihrem wegweisend ergonomischen Design unterstützen die Mikroskope den Anwender in jeder Arbeitssituation. Die durchdachte Anordnung aller Funktionselemente fördert sowohl eine verspannungsfreie Körperhaltung als auch eine ermüdungsfreie Handhabung. Zur Förderung der Konzentration hat man zudem ideale Blickwinkel auf sämtliche Informations- und Kontrollkomponenten. Konzept Technologie Beste Ergonomie
3 * Stand Juli 2006 Mitutoyo verwendet auf dem großen XYT isch eine für ihre hervorragende Geradheit und Stabilität bekannte Linearführung. Dies ist ein Schlüsselelement in der Strategie zur Maximierung der geometrischen Genauigkeit – ein weiteres ist die FEM-Analyse. Unsere Konstrukteure setzten diese Technik in der Entwurfsphase ein, um sicherzustellen, dass die Stabilität des T ischs in jeder Messsituation optimal ist. So wurden die Grundlagen für das Erreichen höchster Messgenauigkeit gelegt. Der XY-T isch ist eine massive, hochstabile Konstruktion, die auf der Grundlage der langjährigen Erfahrung von Mitutoyo in der Herstellung von Präzisionsmessmikroskopen entwickelt wurde. Die maximale T ischbelastung beträgt 30 kg, und es ist eine Reihe nützlicher Vorrichtungen erhältlich, darunter ein WaferHalter und eine schwenkbare Zentrierhilfe. Die Mikroskope sind mit hochgenauen digitalen Glasmaßstäben in allen drei Achsen ausgestattet. Mitutoyo stellt die Glasmaßstäbe in einer unterirdischen Produktionsstätte her, in der das ganze Jahr über eine konstante Temperatur und Luftfeuchtigkeit herrschen. Die XY- (T isch) und Z-Verschiebungen (optischer Tubus) werden digital angezeigt. Die Messgenauigkeit der X- und Y-Achse bei vollem Hub übertrifft die Klasse 0 der JIS-Norm für Messmikroskope (B7153-1995). Damit sind diese Mikroskope ideal für die hochgenaue Messung mit höchster Auflösung von Präzisionsformen und Schneidwerkzeugen oder für die Inspektion von Halbleiter-/Elektronikteilen wie Wafern und integrierten Schaltkreisen. Hochgenauer und belastbarer Messtisch Digitale Glasmaßstäbe in allen Achsen Höchste Messgenauigkeit* FEM-Analyse des XY-T ischs 1,8 1,6 1,4 1,2 1 0,8 0,6 0,4 0,2 0 10 30 50 70 90 110 130 150 170 190 210 230 250 µｍ
Hell- / Dunkelfeld (BD) mit der LAF-Funktion 4 Das optische System wird mehr denn je für seine Fähigkeit geschätzt, Messungen, Beobachtungen und Analysen mit einer wegweisenden Kombination aus großem Arbeitsabstand und hoher NA zu ermöglichen. Es gewährleistet eine hohe Bedienbarkeit beim Messen von tiefen Löchern, Stufen usw. oder beim Einrichten von Werkstücken für die Messung. Um die Position des Okulars optimal an die Körpergröße und die Sitzposition des Bedieners anpassen zu können, verfügt das Messmikroskop MF-U über einen schwenkbaren optischen Tubus. Er erlaubt eine beliebige Winkelverstellung zwischen 0 und 30 Grad. * nur für Modell MF-U Als Werksoption ist ein Laser-Autofokus (LAF) für das Messmikroskop MF-U erhältlich. Sein Einsatz gewährleistet das Erreichen der spezifizierten Ge- nauigkeit bei Höhenmessungen und bietet vor allem höchste Wiederholpräzision. * nur für Modell MF-U Die Funktionselemente befinden sich leicht erreichbar auf zwei Bedienfeldern an der Vorderseite des Geräts. Durch diese griffgünstige Anordnung kann sich der Bediener auf die Messungen konzentrieren, ohne sein Augenmerk von den Okularen abwenden zu müs- sen. Dank der Folienabdeckung sind die Tasten und Schalter außergewöhnlich strapazierfähig und schmutzunempfindlich. linkes Bedienfeld Optisches System Schwenkbarer optischer Tubus* Frontbedienung Laser-Autofokus* rechtes Bedienfeld
5 Hinweis: Das obige Diagramm zeigt die Rückführbarkeit für die Messmikroskope. nationales Normal National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (NMIJ/AIST) Atomuhr synchronisiert mit UTC Mitutoyo Metrological Standards Calibration Section (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0067) Frequenzstandard-Oszillator (optischer Frequenzkamm) Sekundärnormal Arbeitsstandard Messmikroskop Mitutoyo Metrological Standards Calibration Section (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0067) jodstabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser Werksnormal Mitutoyo Utsunomiya Calibration Center (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0031) frequenzstabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser Wie genau das Fadenkreuz auf ein Werkstückmerkmal ausgerichtet werden kann, ist eine sehr wichtige Eigenschaft eines Messmikroskops. Unter Berücksichtigung der Okularauflösung wird ein 90˚-Fadenkreuz mit einer Linienbreite von 5 μm* ein- gesetzt, was eine präzise Positionierung ermöglicht. Die Geräte verfügen über fasergekoppelte Halogenlichtquellen mit vorgeschaltetem InfrarotWärmefilter. Dadurch werden ungünstige Temperatureinflüsse der Beleuchtung auf das System sowie das Werkstück zuverlässig unterbunden. Für Auflichtbetrachtungen kommt eine telezentrische, für Durchlichtbetrachtungen eine Köhlersche Beleuchtung zum Einsatz. In beiden Fällen wird für eine gleichmäßige, blendfreie Ausleuchtung bei optimalem Bildkontrast eine Aperturblende verwendet. Der optische Tubus der Geräte ist standardmäßig mit einem Kameraanschluss versehen. Über ihn können diverse Zusatzgeräte wie eine Digitalkamera oder andere Geräte zur optischen Analyse eingebunden werden. Zur Gewährleistung der Genauigkeit der zur Gerätespezifikation verwendeten Mitutoyo-Kalibriervorrichtungen und -instrumente wird eine kontinuierliche Rückführbarkeitskette auf nationale Normale Japans aufrechterhalten. 3m * Fadenkreuz-Strichplatten mit 3- und 7-µm- Linienbreiten sind ebenfalls erhältlich. FadenkreuzStrichplatte Externe Halogenlichtquelle Erweiterungsfähiges System Rückführbarkeit auf nationale Normale
6 250 mm 150 mm 150 mm Die Diversifizierung und Skalierung von Werkstücken nimmt in vielen Industriebereichen zu, z. B. in der Halbleiter- und Elektronikindustrie, bei Präzisionsbauteilen für die Automobilindustrie und bei Werkzeugen. Die Mikroskope sind nicht nur für kleinste Werkstücke geeignet, sondern auch für größere Komponenten wie Leadframes, Präzisionsschneidwerkzeuge und Gussformen. Einsatz zweier Zentrierspitzen Technische Daten Sowohl in der X- als auch der Y-Achse agiert das HYPER MF/MF-U mit einer Längenmessabweichung von (0,9+3L/1000) µm. Das dokumentiert eine Präzision, die sämtliche internationale Normen, wie diejenige der Klasse 0 der JIS-Norm B7153:1995, deutlich übertrifft. Dies ermöglicht die ultrapräzisen Inspektionen und Messungen sowohl von kleinsten sichtbaren Merkmalen als auch von solchen, die sich über den gesamten Messbereich der Mikroskope erstrecken. * Klasse 0: max. (2+0,01L) µm, L: Messlänge (mm) Der motorische Antrieb der X-, Y- und Z-Achse wird über einen Joystick bedient und kontrolliert. Das erlaubt ein besonders feinfühliges und ergonomisches Arbeiten. Die Verfahrgeschwindigkeit des T ischs lässt sich über einen breiten Bereich sehr exakt zwischen schnell und ultralangsam einstellen. Die Feinpositionierung des Werkstücks gelingt dadurch problem- und mühelos. Darüber hinaus sind in allen drei Achsen getrennte Sperrmechanismen vorhanden. Der optionale motorische Objektivrevolver des HYPER MF-U wird über das an der Frontseite des Geräts liegende Bedienpanel aktiviert. Dabei erfolgt eine kontinuierliche Rückmeldung der Revolverposition an die Systemsteuerung. Dank dieser Information weist die LED-Anzeige am Gerät stets exakt die aktuelle Objektivstellung aus. Darüber hinaus wird eine permanente Rückmeldung der Revolverstellung an die optionale Messsoftware möglich. Genauigkeit weit über der Norm Joystickbetrieb Motorisierter Objektivrevolver Großer Messbereich linkes Bedienfeld Schalter für die elektrisch betriebene Revolverdrehung MF / MF-U MF / MF-U MF / MF-U MF-U
7 Technische Daten (Hauptgerät) Hyper MF Hyper MF-U Ein optischer Tubus, Revolver und Objektiv sind optional. Modell Hyper MF-B2515B Hyper MF-UB2515B Hyper MF-UD2515B Hyper MF-UE2515B Hyper MF-UF2515B Bestell-Nr. 176-430*1 176-431*1 176-432*1 176-433*1 176-434*1 Optischer Tubus endlich korrigierte Optik — unendlich korrigierte Optik Hellfeld (BF) unendlich korrigierte Optik Hell- / Dunkelfeld (BD) unendlich korrigierte Optik Hellfeld-LAF unendlich korrigierte Optik H e l l - / Dunkelfeld-LAF Standard-Strichplatte (eingebaut) 90°-Fadenkreuz (Strichlinie, Strichbreite: 5 μm) Einstellung des Pupillenabstands Siedentopf-Typ, Einstellbereich: 51 bis 76 mm Übertragungsverhältnis des optischen Strahlengangs Okular/Kameraanschluss = 50/50 Winkel aus der Horizontalen 25° einstellbar 0–30° Kameraanschluss Standardzubehör Betrachtungsbild seitenrichtige Abbildung Okularvergrößerung 10X, 15X, 20X Monokular (mit einem Okular) oder Binokular (mit zwei Okularen) nach Wahl Auslieferung mit zwei 10X-Okularen Objektiv (optional) ML-Objektiv 1X, 3X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X — Hellfeld (BF) — M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo Hell-/ Dunkelfeld (BD) — BD Plan Apo Objektivrevolver (optional) Hellfeld (BF) — (manueller 4-fach-Revolver/ motorischer 5-fach-Revolver*2) Hell-/ Dunkelfeld (BD) — (manueller 4-fach-Revolver/ motorischer 4-fach-Revolver*3) Fokussiereinheit Maximale Werkstückhöhe 150 mm Messgenauigkeit ±(1,5+10L/1000) μm, L: Messlänge in mm Antriebsmethode motorbetriebene Steuerung per Joystick Beleuchtung Durchlicht telezentrische Beleuchtung, einstellbare Aperturblende, Halogenlampe (12 V, 50 W), Beleuchtungseinstellung in 100 Stufen, externe Halogen-Kaltlichtquelle Auflicht Köhlersche Beleuchtung, einstellbare Aperturblende, Halogenlampe (12 V, 100 W), Beleuchtungseinstellung mit 100 Stufen, externe Halogen-Kaltlichtquelle Messtisch Messbereich (X-Achse, Y-Achse) 250 × 150 mm Längenmessabweichung*4 (ohne Last auf der X- und Y-Achse) ±(0,9+3L/1000) μm, L: Messlänge in mm Oberflächenmaße des T ischs 460 × 350 mm Abmessungen der nutzbaren Fläche des T ischglases 300 × 200 mm Schwenkbereich ±3° Maximale Belastung 30 kg Antriebsmethode motorbetriebene Steuerung per Joystick Detektoreinheit hochgenauer digitaler Glasmaßstab (patentiert) Digitalanzeige Auflösung 0,01 μm Achsenanzeige X-, Y- und Z-Achse Datenverarbeitungseinheit QM-Data 200 oder Vision Unit Steuereinheit Joystick-Verriegelung verfügbar Feineinstellung verfügbar Datenausgabe verfügbar Rücksetzung der Digitalanzeige verfügbar Helligkeitsregler für die Beleuchtung verfügbar LAF (nur Fokus) — — verfügbar LAF-Fokusverfolgung (TF) — — verfügbar Steuerung des Revolvers — verfügbar (bei installiertem elektrisch betriebenem Revolver) Außenabmessungen Haupteinheit des Mikroskops 880 × 913 × 730 mm 880 × 913 × 770 mm Netzgerät 160 × 476 × 381 mm Masse Haupteinheit des Mikroskops ca. 250 kg ca. 255 kg Netzgerät 14 kg Spannungsversorgung 100–240 VAC, 50 / 60 Hz, maximaler Stromverbrauch: 700 W *1 Zur korrekten Angabe Ihres Netzkabels fügen Sie der Bestell-Nr. folgende Endungen hinzu: A für UL / CSA, D für CEE, DC für CCC, E für BS, K für KC, C; für PSE ist keine Endung erforderlich. *2 und *3 Werksoptionen *4 Die Messgenauigkeit entspricht JIS B 7153. Wenn Sie die Glühbirne au s t au s chen mö chten , fordern Sie bi t te eine Halogenlamp e für Durchli cht (12 V, 50 W ) (02 A PA527) oder für Aufli cht (12 V, 10 0 W ) (517181) an . Ein Modell mi t hoher L i chtinten si t ät (12 V, 10 0 W ) (12BAD6 02) i s t eb enfall s e rhäl tli ch .
8 Digital color vision system Focus pilot FP-05 Focus pilot FP-05U 0.5X video adapter C-mount adapter C-mount adapter LED ring-light (white) Ring-light cable Various eyepieces Monocular unit Digital protractor eyepiece Protractor eyepiece Various ML objectives QM-Data200 Vision Unit BF optical tube with LAF BF / DF optical tube with LAF BF / DF optical tube Turret (BF, 4-way) with sensor Turret (BF, 4-way) with sensor Power turret (BF, 4-way) Power turret (BF, 5-way) BF optical tube Binocular unit Various FS objectives Various FS objectives DIC (Differential Interference Contrast) unit Various reticles Polarization unit Various color filters Vibration damping pad Twin fiber-optic illumination cable Center Support Stage adapter A Rotary table with fine feed knob (B) Holder with clamp V-block with clamp Swivel center support Mounting table Stage micrometer Hyper MF-U Hyper MF Data processor (required option) Various reticles Systemkonfiguration Monokulartubus 176-392 mit einem Okular 10X / 24 MF Binokulartubus 176-393 mit zwei Okularen 10X / 24 MF Okulare Okulare Artikelbezeichnung WF10X / 24 WF20X / 12 Nr. (1-Stück-Packung) 378-866-5 378-858-5 Nr. (2-Stück-Packung) 378-866 378-858 Vergrößerung 10X 20X Sehfeldzahl 24 12 MF / MF-U -M tA Strichplatten Ringl cht LED e ß) Ringlichtkabel verschied n Okulare M nokular Binokular digitales Winkelm ssokular Winkelmess kular k -P 0,5X-Videoadapter PC k -P M - A Datenverarbeitungseinheit (erforderliche Option) 2 0 -Tubus mit LAF -Tubus F-Tubus mit LAF F-Tubus manueller 4-fach-BFRevolv r moto ischer 5-fach-BF-Revolver manueller 4-fach-BF/DFRevolv r ve schiedene FS-Objektive verschiedene FS-Objektive m torischer 4-fach-BF/DF-Revolver ifferentielle Interferenzkontrasteinheit (DIC) s sei heit Strichplatten ve schiedene Farbfilter Gl smaßstab Unterbautisch Schwingu gsdämpfer Drehtisch mit Feineinstellung T ischadapter A Kabel für TwinLWL-Illumi ator kippbar r Zentriersupport Prisma mit Klemmung alter mit Klemmung Z riers verschiedene ML-Objektive
Modell ML1X ML3X ML5X ML10X ML20X ML50X ML100X Bestell-Nr. 375-036-2 375-037-1 375-034-1 375-039 375-051 375-052 375-053 Vergrößerung 1X 3X 5X 10X 20X 50X 100X Numerische Apertur (N.A.) 0,03 0,09 0,13 0,21 0,42 0,55 0,7 Arbeitsabstand (WD) 61 mm 77 mm 61 mm 51 mm 20 mm 13 mm 6 mm Schärfentiefe 306 µm 34 µm 16,3 µm 6,2 µm 1,6 µm 0,9 um 0,6 µm 9 Objektive und Beleuchtung 176-313 Fadenkreuz-Strichplatten, deren Drehung digital kalibriert ist, werden in Deckung mit dem Bild des Werkstücks gebracht. Das Umschalten oder Zurücksetzen der Auflösungen erfolgt über den als Standardzubehör mitgelieferten Zähler. Die Datenausgabe ist über einen PC mit RS-232C möglich. •Vergrößerung: 10X •Sehfeldzahl: 18 •Strichplatte: 90˚ durchgezogene Linie, 45˚ gestrichelte Linie •Winkelauflösung: 0,01˚ oder 1' •Spannungsversorgung: 9 VAC, 600 mA •Max. Stromverbrauch: 4 W •Max. Messbereich: ±369,99˚ oder ±369˚59' 375-043 Zwei um 360° drehbare Fadenkreuze werden in Deckung mit dem Bild des Werkstücks gebracht. • Vergrößerung: 10X • Sehfeldzahl: 21 • Auflösung: 5' • Messbereich: 360° Winkelmessokular Digitales Winkelmessokular MF MF Schwanenhals-Lichtleiter, 2-armig Faseroptisches Ringlicht LED-Ringlicht (für FS-Objektive) Modell M Plan Apo SL 20X M Plan Apo SL 50X M Plan Apo SL 100X G Plan Apo 20X (t3,5) G Plan Apo 50X (t3,5) Bestell-Nr. 378-810-3 378-811-15 378-813-3 378-847 378-848-3 Vergrößerung 20X 50X 100X 20X 50X Numerische Apertur (N.A.) 0,28 0,42 0,55 0,28 0,5 Arbeitsabstand (WD) 30,5 mm 20,5 mm 13 mm in Luft 29,42 mm in Luft 13,89 mm Schärfentiefe 10 μm 4 µm 2 µm 10 μm 4 µm Modell M Plan Apo 1X M Plan Apo 2X M Plan Apo 5X M Plan Apo 7.5X M Plan Apo 10X M Plan Apo 20X M Plan Apo 50X M Plan Apo HR 50X M Plan Apo 100X M Plan Apo HR 100X Bestell-Nr. 378-800-12 378-801-12 378-802-6 378-807-3 378-803-3 378-804-3 378-805-3 378-814-4 378-806-3 378-815-4 Vergrößerung 1X 2X 5X 7,5X 10X 20X 50X 50X 100X 100X Numerische Apertur (N.A.) 0,025 0,055 0,14 0,21 0,28 0,42 0,55 0,75 0,7 0,9 Arbeitsabstand (WD) 11 mm 34 mm 34 mm 35 mm 34 mm 20 mm 13 mm 5,2 mm 6 mm 1,3 mm Schärfentiefe 200 µm 100 µm 40 µm 26,7 µm 20 μm 10 µm 4 µm 4 µm 2 µm 2 µm FS-Objektive Hellfeld (BF) MF-U Modell BD Plan Apo 2X BD Plan Apo 5X BD Plan Apo 7.5X BD Plan Apo 10X BD Plan Apo 20X BD Plan Apo 50X BD Plan Apo 100X Bestell-Nr. 378-831-12 378-832-7 378-830-7 378-833-7 378-834-7 378-835-7 378-836-7 Vergrößerung 2X 5X 7,5X 10X 20X 50X 100X Numerische Apertur (N.A.) 0,055 0,14 0,21 0,28 0,42 0,55 0,7 Arbeitsabstand (WD) 34 mm 34 mm 34 mm 33,5 mm 20 mm 13 mm 6 mm Schärfentiefe 100 µm 40 µm 26,7 µm 20 μm 10 µm 4 µm 2 µm FS-Objektive Hell-/ Dunkelfeld (BD) MF-U ML-Objektive MF Objektive LED-Ringlicht MF MF-U MF MF / MF-U Externe Lichtquellen 176-416 Hier wird die Lichtquelle Auflichtbeleuchtung in der MikroskopHaupteinheit genutzt. Die Funktion zur homogenen Ausleuchtung sowie die Kondensorlinse sind enthalten. 12 V 100 W 176-417 Hier wird die Lichtquelle Auflichtbeleuchtung in der Mikroskop-Haupteinheit genutzt. Die Funktion zur homogenen Ausleuchtung sowie die Kondensorlinse sind enthalten. 12 V 100 W Hinweis: mit 10X-Objektiv (max.) 176-367-2 (weiße LED) Die Position ist zur Anpassung an den Arbeitsabstand und für eine homogene Ausleuchtung einstellbar. 12 V 7,7 W; Außendurchmesser: 70 mm Hinweis: mit 10X-Objektiv (max.) Bestell-Nr. bei der nächstgelegenen MitutoyoNiederlassung zu erfragen (weiße LED) Die Position ist zur Anpassung an den Arbeitsabstand und für eine homogene Ausleuchtung einstellbar. 12 V 7,7 W; Außendurchmesser: 70 mm Hinweis: mit 10X-Objektiv (max.)
10 Datenverarbeitungs- und 2D-Berechnungssystem QM-Data 200 Bestell-Nr. 264-159 Anzeigesprachen Japanisch, Englisch, Deutsch, Französisch, Italienisch, Spanisch, Portugiesisch, Tschechisch, Chinesisch (vereinfacht/ traditionell), Koreanisch, Türkisch, Schwedisch, Polnisch, Niederländisch und Ungarisch Einheit Länge: mm, Winkel: Dezimalgrad/Grad-Minute-Sekunde (wählbar) Auflösung 0,01 µm Programmierfunktion Erstellen/Ausführen/Bearbeiten von Messabläufen Statistische Verarbeitung Datenmenge, Maximalwert, Minimalwert, Mittelwert, Standardabweichung, Bereich, Histogramm Statistiken klassifiziert nach Messfunktion (nach Befehl) Anzahl der Datenelemente im Speicher maximal 1000 Elemente Elementtypen Punkt, Linie, Kreis, Abstand, Ellipse, Vierkantloch, Langloch, Schnittpunkt und -winkel Elementeingabe Punktelement, Linienelement, Kreiselement Anzeigegerät Farb-Grafik-LCD (hintergrundbeleuchtet) Ausgang für die Messergebnisdatei RS-232C-Ausgang (CSV-Format, MUX-10-Format) Spannungsversorgung 100–240 VAC Maximaler Stromverbrauch 17 W (ohne Sonderzubehör) Außenabmessungen ca. 260 × 242 × 310 mm (einschließlich Standfuß) Masse ca. 2,9 kg Technische Daten > leistungsstarke 2D-Messfunktionen mit grafischer Anzeige auf großem LCD > grafische Hilfe bei allen Messabläufen > automatische Anzeige von Messergebnissen > Teileprogramme lernbar, grafische Navigatorfunktion auf dem Bildschirm zum einfachen Auffinden der Messpositionen im Wiederholbetrieb > häufig ausgeführte kombinierte Messabläufe (z. B. Kreis-zu-Kreis) als Makros hinterlegt und mit einem Tastendruck abrufbar > AI-Funktion zum automatischen Erkennen des Merkmalstyps während der Messung > Erstellung von Makros zum Auslösen gespeicherter Messabläufe per Tastendruck > benutzerdefinierte Menüs für häufig verwendete Funktionen > Toleranzvergleiche und verschiedene statistische Auswertungsmöglichkeiten für jedes Messergebnis möglich > Ausgabe von Messergebnissen im MS Excel®*-Tabellenformat (CSV) > Möglichkeit der Speicherung von Messergebnissen und Teileprogrammen auf dem zusätzlich erhältlichen USB-Memory-Stick > Verfügbarkeit eines freistehenden T ischs mit Kippvorrichtung * MS Excel® ist eine eingetragene Marke der Microsoft Corporation. Leistungsmerkmale Abmessungen 196 310 30˚ 50˚ 260 210 242 ° °
11 > automatische Kantenerkennung und kombinierte Messabläufe als Makros mit einem Mausklick aufzurufen > grafische Unterstützung bei Messungen und in Teileprogrammen sorgt für Benutzerfreundlichkeit > Bilderfassungs-/ -speicherfunktion > Toleranzberechnung und statistische Auswertung aller Merkmale > Messergebnisausgabe im CSV-Format erlaubt die Erstellung von werkstückspezifischen Prüfblättern auf demselben PC mittels MS Excel ® * > Unterstützung von Gesamtmessungen auf einem Bildschirm > automatische Funktionen zur Lichtsteuerung sorgen für eine zuverlässige Reproduzierbarkeit der Beleuchtungsbedingungen * MS Excel® ist eine eingetragene Marke der Microsoft Corporation. Leistungsmerkmale Messen eines Werkstückmerkmals Technische Daten 1) Ziehen Sie das zu messende Merkmal auf den Bildschirm, justieren Sie die Beleuchtung, fokussieren Sie die Haupteinheit des Mikroskops und wählen Sie das Merkmal sowie das Kantenerkennungstool aus. 2) Klicken Sie mit der Maus in die Nähe des Merkmals, um dessen Kante automatisch zu erfassen, und führen Sie die Messung/Berechnung durch. 3) Die Messergebnisse für das ausgewählte Merkmal werden auf dem Bildschirm angezeigt. Modell Vision Unit Bilderfassungseinheit Bildsensor 1/2"-CMOS-Farbkamera, 3 Megapixel Außenabmessungen/ Masse (nur Kamera) 56 (B) × 54 (T) × 78 (H) mm / 0,4 kg Vergrößerung des optischen Systems 0,5X (mi t eingebautem 0,5X-V ideoadapter) PC Betriebssystem Microsoft Windows 10 Bildschirm 22" Software (optional) QSPAK VUE Maximaler Stromverbrauch max. 372 W (inklusive Bildschirm) Bildschirmvergrößerung ca. 19X (mit 3X-Objektiv: ca. 57X / Sichtfeld: 4,49 × 3,36 mm) Auflösung 0,01 µm (mit Hyper MF / MF-U) Messgenauigkeit für jede Achse bei 20 ºC*1 abhängig von der Genauigkeit des Messmikroskops, an dem die Einheit montiert ist Wiederholpräzision bei 20 ºC*2 abhängig von der Genauigkeit des Messmikroskops, an dem die Einheit montiert ist als Referenz: Wiederholpräzision innerhalb des Sichtfelds (bei Verwendung eines Musterwerkstücks nach Mitutoyo-Standards) bei Verwendung des 3X-Objektivs der ML-Serie (3σ): weniger als ±2,5 µm bei Verwendung des 10X-Objektivs der ML-Serie (3σ): weniger als ±1,0 µm *1 Diese Messgenauigkeit entspricht der Differenz zwischen einem tatsächlichen Messwert bei der Bildverarbeitungsmessung und einem wahren Wert. *2 Unter der W iederholpräzision auf einem Bildschirm versteht man die Messwertvariation bei wiederholten Messungen diverser Positionen innerhalb desselben Bildes. Hinweis: QSPAK VUE und eine Datenverarbeitungseinheit sind separat erforderlich. Bildverarbeitungseinheit Vision Unit
12 Laser-Autofokus Der für das Messmikroskop HYPER MF/MF-U als Werksoption erhältliche LaserAutofokus unterstützt das Erreichen der spezifizierten Genauigkeit und bietet vor allem höchste Wiederholpräzision bei der Inspektion von sehr kleinen Stufen und Details. Die Funktion sorgt für die Minimierung von Bedienfehlern und eine Erhöhung der Produktivität. Wählbare LAF-Funktionen (JF und TF) Im Modus Just Focus (JF, einmalig eingesetzter Fokus) objektiviert der LaserAutofokus eine Höhenmessung. In der Tracking-Funktion (TF) erfolgt eine kontinuierliche Laserfokussierung. Sie regelt während der T ischbewegung ständig automatisch die Z-Achse so nach, dass der im Okular sichtbare Bereich des Werkstücks stets scharf bleibt. Dadurch wird das Auffinden von weit auseinander liegenden Messpositionen wesentlich erleichtert – zum Beispiel bei nicht ganz gerade liegenden Werkstücken. Die LAF-Option ist sowohl für Hellfeld- als auch für Hellfeld-/Dunkelfeldsysteme erhältlich. Höchste Wiederholpräzision Je nach Vergrößerung des eingesetzten Objektivs (min. 50X) ergeben sich Laserpunktdurchmesser von max. ø1 µm, sodass auch schmalste Riefen oder Nuten in der T iefe gemessen werden können. Daraus ergibt sich ein breites Spektrum an durchführbaren Messaufgaben. Die LAF-Funktion dient der wiederholgenauen Fokussierung auf Bereiche mit unterschiedlichen Oberflächenstrukturen und Neigungen. Laserpunktdurchmesser *1 Der jeweilige Punktdurchmesser ist ein durch Berechnungen bestimmter Wert. *2 Die Wiederholpräzision wird mithilfe eines Musterwerkstücks nach Mitutoyo-Standards ermittelt. Sichtbarer Halbleiterlaser 690 nm 20X 20X 10X 20X Laserstrahlklasse Der werksoptionale Laser-Autofokus arbeitet mit einem Niedrigenergielaser entsprechend der Klasse 2 der JIS-Norm C6802 / 1997 für die Sicherheit von Lasereinrichtungen. Ultrapräzisionsgetriebe Wafer Oberflächenprofil (Metall) Narbe im Metall Objektiv Punktdurchmesser*1 Wiederholpräzision*2 (2σ) M Plan Apo 5X 6 µm 1,2 µm M Plan Apo 10X 3 µm 0,6 µm M Plan Apo 20X 1,5 µm 0,6 µm M Plan Apo 50X 0,8 µm 0,6 µm M Plan Apo 100X 0,6 µm 0,6 µm
378-092 Hellfeld (BF) Hell-/Dunkelfeld (BD) 378-080: für 5X, 10X 378-079: für 20X 378-078: für 50X, SL20X 378-076: für 100X, SL80X, SL50X 12AAA643: ND2 12AAA644: ND8 12AAA645: GIF 12AAA646: LB80 176-415 Maximale Stützlänge: 250 mm Maximaler Stützdurchmesser: ø150 mm Maximaler Durchmesser für externe Scheitelpunktbetrachtungen: ø140 mm Effektiver Verfahrweg des Klemmmechanismus: 22 mm Gewicht: 13 kg 176-419 Maximale Belastung: 300 kg Gefederte Auflage Material des Schwimmelements: SUS304 B×T×H = 800×900×48 mm Gewicht: 58 kg 176-418 Maximale Belastung: 400 kg B×T×H = 1100×900×650 mm Gewicht: 45 kg 176-107 Maximale Werkstückdicke: 35 mm Gewicht: 0,4 kg Hinweis: T ischadapter A erforderlich 176-306 Nutzbarer Glasdurchmesser: ø240 mm Rotationswinkel des Drehtischs: ca. 51,5° (pro voller Umdrehung des Feineinstellknopfs) Gewicht: 6,5 kg 176-304 1-Stück-Packung Gewicht: 1,5 kg 172-197 ermöglicht einen Neigungswinkel von ±10° Mindestmesswert des Winkels: 1° Maximale Werkstückgröße: ø80×140 mm bei horizontaler Orientierung, ø65×140 mm bei einem Neigungswinkel von 10° Gewicht: 2,5 kg Hinweis: T ischadapter A erforderlich 172-378 Maximaler Klemmdurchmesser: ø25 mm Gewicht: 0,8 kg Hinweis: T ischadapter A erforderlich 176-410: manuell (4-fach-BF-Revolver) 176-411: motorisch (5-fach-BF-Revolver) 176-412: manuell (4-fach-BF / BD-Revolver) 176-413: motorisch (4-fach-BF / BD-Revolver) 13 Wichtigstes Sonderzubehör Polarisationseinheit Revolver Prismenaufsatz mit Klemme Zentriersupport Schwingungsdämpfer Beleuchtungsfilter Halter mit Klemmung Drehtisch mit Feineinstellung (B) DIC-Prisma Kippbarer Zentriersupport Tischadapter A Unterbautisch
14 Messmikroskope – Produktübersicht Die Nachfrage nach Messmikroskopen, die sich sowohl für Betrachtungs- als auch Messaufgaben eignen, steigt in einigen Industriezweigen – z. B. für Halbleiter, elektronische Bauteile, Präzisionsteile aus der Automobilbranche und Werkzeuge – rasant. Im Folgenden finden Sie einen Überblick über das Angebot an Mitutoyo-Messmikroskopen, die in vielen Branchen eingesetzt werden. Mitutoyo möchte Messmikroskope für die Bestimmung winziger Werkstückmerkmale attraktiver machen und sie als Grundausstattung für die berührungslose Messung etablieren. Hochgenaue Messmikroskope Hyper MF / MF-U Messmikroskope MF / MF-U Name der Serie MF MF-U Optischer Tubus Standard (endlich korrigiert) metallurgisches Mikroskop (unendlich korrigiert) Messbereich (X / Y / Z) 100 / 100 / 150, 200 / 100 / 150, 200 / 170 / 220, 300 / 170 / 220, 400 / 200 / 220 mm Steuerung/ Leseeinheit motorischer 3-Achsen-Antrieb über Joystick/ digitaler Glasmaßstab Auflösung 0,1 / 0,5 / 1 μm Datenverarbeitungseinheit QM-DATA 200 / Vision Unit Kameraanschluss standardmäßig Werkstattmikroskop TM Name der Serie TM Optischer Tubus Standard (endlich korrigiert) Messbereich (X / Y / Z) 50 / 50 / 115, 100 / 50 / 107 mm Steuerung/ Leseeinheit manuell/ Einbaumessschraube Auflösung 1 μm (mit MHD) Datenverarbeitungseinheit QM-DATA 200 Kameraanschluss nicht vorhanden Hyper MF Hyper MF-U MF MF-U TM-505 Name der Serie Hyper MF Hyper MF-U Optischer Tubus Standard (endlich korrigiert) metallurgisches Mikroskop (unendlich korrigiert) Messbereich (X / Y / Z) 250 / 150 / 150 mm Steuerung/ Leseeinheit motorischer 3-Achsen-Antrieb über Joystick/ digitaler Glasmaßstab Auflösung 0,01 μm Datenverarbeitungseinheit QM-DATA 200 / Vision Unit Kameraanschluss standardmäßig
15 NOTIZEN
Koordinatenmessgeräte Sensorsysteme Bildverarbeitungsmessgeräte Härteprüfgeräte Formmessgeräte Linear Scale Optische Messgeräte Handmessmittel und Datenübertragungssysteme Hier finden Sie zusätzliche Produktbroschüren und unseren Gesamtkatalog. www.mitutoyo.de Mitutoyo Deutschland GmbH Borsigstraße 8-10 41469 Neuss Tel. +49 (0) 2137-102-0 Fax +49 (0) 2137-86 85 info@mitutoyo.de www.mitutoyo.de Hinweis: MITUTOYO ist entweder eine eingetragene Marke oder Marke der Mitutoyo Corp. in Japan und/oder anderen Ländern/Regionen. Andere hier aufgeführte Produkt-, Firmen- und Markennamen dienen nur zu Identifikationszwecken und sind eventuell Markenzeichen ihrer jeweiligen Inhaber. Die Produktabbildungen sind unverbindlich. Die Produktbeschreibungen, insbesondere alle technischen Daten, sind nur nach ausdrücklicher Vereinbarung verbindlich. Ganz gleich, welche Messaufgabe Sie fordert : M i t u t o y o u n t e r s t ü t z t S i e v o m S t a r t b i s z u m Ergebnis. W i s s e n , E r f a h r u n g u n d i n t e rd i s z i p l i n ä re K omp e t e n z : M i t u t o y o i s t e i n e r d e r w e l t w e i t g r ö ß t e n A n b i e t e r industrieller Längenmesstechnik und damit der Garant für die effektive Lösung Ihrer individuellen Messaufgaben mit enormer Produktvielfalt, innovativer Technologie und beispielhaftem Service. Nutzen Sie die Leistungsvielfalt von Mitutoyo für Ihren m e s s b a r e n E r f o l g . S c h ö p f e n S i e a u s e i n e m g r o ß e n P r o d u k t - u n d D i e n s t l e i s t u n g s f u n d u s i m B e r e i c h d e r L ä n g e n m e s s t e c h n i k . Vo m H a n d m e s s m i t t e l b i s z u r Sonderlösung. Vom Kalibrierservice bis zur Lohnmessung. Von der Projektplanung bis zum hervorragenden Service. Vom Start bis zum präzisen Ergebnis. © MITUTOYO/D 03/23 PR1438(2)
RkJQdWJsaXNoZXIy