SENSORSYSTEME Lineare Messtaster LINEAR GAUGES PR1528(2)
2 LINEAR GAUGE Mitutoyo Precision Gauge Heads Breite Palette an Messtastern – von höchstpräzisen zu hochwertigen wirtschaftlichen Modellen
3 Hauptmaßstab Referenzmaßstab Fotodiode Kondensorlinse LED 5 µm Phase-A Phase-B Phase-PA Phase-PB 20 µm 20 µm Messschritt Für die Messtaster werden hauptsächlich optische Durchlicht-Linearmaßstäbe verwendet, deren Funktionsweise unten dargestellt ist. Bei diesem Typ liegen sich die Lichtquelle (LED) und das Detektorelement (Fotodiode) gegenüber, wobei der Hauptmaßstab und der Referenzmaßstab (20 µm Abstand) dazwischen angeordnet sind. Bewegt sich der Maßstab in Bezug auf den Detektor, änder t sich die durch das Fenster im Referenzmaßstab fallende Lichtmenge ständig. Gleichzeitig werden zwei synchronisier te Sinussignale mit einer relativen Phasendifferenz von 90 Grad ausgegeben. Diese Signale werden dann verstärkt, elektrisch geteilt (wobei zusätzliche Wellenformen eingefügt werden) und als Rechtecksignale von 0,1 μm, 0,5 μm oder 1 μm ausgegeben. Optische Durchlicht-Linearmaßstäbe Messprinzip μ μ μ
4 Rückführbarkeit von Mitutoyo-Standards (Stand Juli 2021) Mitutoyo Metrological Standards Calibration Section (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0067) Frequenznormal-Oszillator 〈Sekundärnormal〉 (als Standard für optische Frequenzkämme) National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (NMIJ / AIST) nach UTC synchronisierte Atomuhr 〈Nationales (Primär)normal〉 National Metrology Institute of Japan/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (NMIJ / AIST) nach UTC synchronisierte Atomuhr und optischer Frequenzkamm 〈Nationales (Primär)normal〉 Mitutoyo-Werk Miyazaki (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0030) jodstabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser 〈Labor-Referenznormal〉 Mitutoyo-Werk Miyazaki stabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser Planglas/ Planparalleles Prüfglas Optische Messgeräte Einbaumessschieber Formmessgeräte Handmessmittel Präzisionssensoren Thermometer Arbeitsnormal Messgerät Mitutoyo Metrological Standards Calibration Section (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0067) jodstabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser 〈Arbeitsnormal〉 Mitutoyo-Kalibrierzentrum Utsunomiya (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0031) stabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser 〈Labor-Referenznormal〉 Mitutoyo-Kalibrierzentrum Kawasaki (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0086) stabilisierter 633 nm-He-Ne-Laser 〈Labor-Referenznormal〉 NMIJ/AIST Referenzfläche JEMIC Temperaturfixpunkt 〈Nationales (Subprimär)normal〉 vom JCSS akkreditiertes Kalibrierlabor Temperaturfixpunkt/PlatinWiderstandsthermometer 〈Sekundärnormal〉 Mitutoyo Metrological Standards Calibration Section (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0067) Temperaturfixpunkt (Tripelpunkt des Wassers)/ Platin-Widerstandsthermometer 〈Labor-Referenznormal〉 Rückführbarkeit der Längenmessung Rückführbarkeit der Temperatur Koordinatenmessgerät Mitutoyo-Kalibrierzentrum Utsunomiya (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0031) Standardendmaß/BügelmessschraubenStandard/Stufenendmaß 〈Arbeitsnormal〉 Mitutoyo-Werk Miyazaki (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0030) Standardendmaß 〈Arbeitsnormal〉 Mitutoyo-Kalibrierzentrum Utsunomiya (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0031) Standardendmaß 〈Labor-Referenznormal〉 Bildverarbeitungsmessgerät Mitutoyo-Abteilung für Vertrieb und Service (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0186) Standardendmaß/Stufenendmaß/ Standardmaßstab/stabilisierter 633 nm-He-Ne- Laser 〈Labor-Referenznormal〉 Stufenendmaß Einstellring Endmaß Standardmaßstab Mitutoyo-Kalibrierzentrum Hiroshima (JCSS-akkreditiertes Kalibrierlabor Nr. 0109) Standardendmaß/BügelmessschraubenStandard/Stufenendmaß 〈Labor-Referenznormal〉 Messuhr-Prüfgerät LaserLängenmessgerät Hinweis: Dies ist ein vereinfachtes Diagramm des Rückführbarkeitssystems von Mitutoyo. Für jedes Produkt werden detaillierte Rückführbarkeitstabellen erstellt. NMIJ / AIST Temperaturfixpunkte 〈Nationales (Primär)normal〉
5 Messprinzip… ………………………………………………………………… 3 Rückführbarkeit von Mitutoyo-Standards……………………………… 4 Anwendungsbereiche… ………………………………………………… 6–9 Messtaster/Anzeigeeinheiten… ……………………………………… 10, 11 Technische Daten der Messtaster LG100… ……………………………………………………………………………………………… 12–14 LG200… ………………………………………………………………………………………………… 15 LGH… ………………………………………………………………………………………………… 16, 17 LGS-1012P… …………………………………………………………………………………………… 18 Technische Daten der Messtaster (Sonderzubehör)… …………………………… 19–23 Technische Daten der Messtaster (Differential-Rechtecksignal)… ……………………24 Technische Daten der Messtaster (Digimatic-Code)… …………………………………… 25 Anzeigen – Technische Daten EJ-102N-Anzeige, Schnittstelleneinheit… ………………………………………………… 26, 27 EC-Anzeige – nur für Digimatic-Ausgabe… ………………………………………………… 29 EH-Anzeige – Modell für den Rackeinbau, Multifunktionstyp mit RS-232C- Kommunikationsfunktionen… ……………………………………………………… 30–35 Erkennung von Bezugspunktmarkierungen… ……………………………………………… 36 Anschließen von Linear Gauges an Anzeigen/ Vergleichstabelle der Anzeige-Funktionen… ……………………………………………… 37 Linear Gauge-Sonderzubehör………………………………………………………… 39, 40 Kurzanleitung für Präzisionsmessgeräte Kurzanleitung für Präzisionsmessgeräte……………………………………………………… 41 Vor Verwendung des Messtasters… …………………………………………………………… 42 Vorsichtsmaßnahmen bei der Montage des Messtasters… ………………………… 42–43 Auf unserer Website bereitgestellte CAD-Daten Bei Bedarf können Kunden 2D / 3D-CAD-Daten für Mitutoyo-Messgeräte von der Mitutoyo-Website herunterladen, um sie bei ihrer Planungsarbeit zu verwenden. Mitutoyo-Website: w w w. m i t u t o y o . d e I N H A L T
6 Halbleiterformteile Verpackung Montage/Inspektion Messung der Leiterplattendicke Walzspaltmessung Anwendungsbereiche Fertigung von Präzisionsteilen Messung von Chip-Parallelität 1 2 3 3 4 1
7 Rückfluss/Inspektion Produktherstellung Messung der Parallelität von Kopiererkomponenten Mehrpunktmessung der FPD-Karte Messung der Crimphöhe Überprüfung der Auflagefläche 2 4 5 6 6 7
8 Ebenheitsmessung Werkstückhöhenerkennung Mehrpunktmessung der Bremsscheibe Nockenhub-Messung Anwendungsbereiche Automobilherstellungsprozess 1 2 5 6
9 Messung des Rundlaufs von Werkstücken Längenmessung an Werkzeugmaschinen Werkstückunterscheidung Inspektionsvorrichtung 3 4 7 7 8 6 3
10 Messtaster/Anzeigeeinheiten umweltbeständige Modelle LG100 Me s sbereich: 10 mm / 25 mm / 50 mm Auflösung: 1 µm / 0,5 µm / 0,1 µm Modell mit Digimatic-Ausgang LGS Mes sbereich: 12,7 mm Auflösung: 10 µm schlanke Bauform LG200* Mes sbereich: 10 mm Auflösung: 1 µm / 0,5 µm / 0,1 µm Adapter s tecker 21HZA196 Adapter s tecker 21HZA195 hochgenaues Modell LGH Mes sbereich: 10 mm Auflösung: 0,01 µm / 0,0 05 µm siehe Seite 12 siehe Seite 18 siehe Seite 15 siehe Seite 16 * Die Funktion der Bezugspunkterkennung an der Anzeige ist deaktiviert. Phase-A/B Phase-A/B/Z mit Bezugspunktmarkierung Digimatic [Messtaster] [Adapterstecker]
11 Modell für DIN-Schienen-Montage Rackeinbau EJ-102N Eingabe mit 2 Achsen, Subtraktionen Anschluss von 8 Einheiten möglich Eingabe mit 2 Achsen, Subtraktionen Multifunktionstyp Schnittstelleneinheit Einrichtungstool für EJ-Anzeige CC-Link 21HZA186 EtherNet/IP 21HZA188 LG QuickSetup Tool (kostenloser Download auf der Mitutoyo-Website) Software zur Messdatenerfassung SENSORPAK EH-102Z kompakte Anzeigeeinheit Eingabe mit 1 Achse EC-101D Multifunktionstyp EH-101P (1 Achse) EH-102P (2 Achsen) Eingabe mit 2 Achsen, Subtraktionen Multifunktionstyp EH-102D siehe Seite 26 siehe Seite 30 siehe Seite 29 siehe Seite 30 siehe Seite 30 siehe Seite 26 siehe Seite 26 EtherCAT 21HZA264 siehe Seite 26 USB 21HZA149 siehe Seite 26 PROFINET 21HZA187 siehe Seite 26 siehe Seite 28 siehe Seite 38 Phase-A/B Phase-A/B/Z mit Bezugspunktmarkierung Phase-A/B/Z mit Bezugspunktmarkierung Digimatic Digimatic [Anzeigeeinheiten] [Schnittstelleneinheit/Software]
12 • hochgenauer Messtaster für den Einsatz in Inline-Systemen und Messräumen • gewährleistet Wiederholpräzision (2σ) im gesamten Messbereich und Genauigkeit im Nahbereich • Schutzart IP67G, Beschaffenheit aus schmiermittelfesten Materialien und verbesserte Gleiteigenschaften – interne Tests ergaben mindestens 50 Millionen Verfahrbewegungen Funktionsfähigkeit*1 *1 bei Modellen mit 10 mm-Messbereich • Alle Modelle verfügen über die Bezugspunktsignal-Ausgabefunktion zur Wiederherstellung der Bezugspunktposition nach der Behebung von Problemen wie Übergeschwindigkeit. • Die Messtaster können an eine kompakte Anzeige (EJ-Anzeige) angeschlossen werden, die für den Inline-Einsatz oder Einbau in ein Gerät geeignet ist, oder an eine Multifunktions-Anzeige (EH-Anzeige)*2, die für den Einsatz in Messräumen geeignet ist. *2 Ein Adapterstecker ist erforderlich. 542-190/542-191/542-192 542-193 / 542-194 / 542-195 542-196/542-197 542-190 542-193 542-196 （50） （48） （18） （17） 21HZA195 (Standardausführung) 21HZ A19 6 (mi t Bezug s punk tmar k i e rung) SERIE 542 – umweltbeständige Modelle LG100 Sonderzubehör • Pneumatikantrieb für Modelle mit 10 mm-Messbereich: 02ADE230 für Modelle mit 25 mm-Messbereich: 02ADE250 für Modelle mit 50 mm-Messbereich: 02ADE270 Hinweis 1: erforderlicher Luftdruck: 2 bis 4 bar (bei einem Modell mit 0,1 µm-Auflösung: 2 bar) Hinweis 2: Messkolben fährt aus, wenn Luft zugeführt wird • Faltenbalg (Ersatzteil) für Modelle mit 10 mm-Messbereich: 21HAA331 für Modelle mit 25 mm-Messbereich: 21HZA176 für Modelle mit 50 mm-Messbereich: 21HZA184 Hinweis 3: Die Abmessungen (Außenmaße) sind in der Maßzeichnung des Produkts enthalten. • Gewindebuchse-Befestigungssatz für Modelle mit 10 mm-Messbereich: 02ADB680 (Gewindebuchse: 02ADB681, Befestigungsmutter: 02ADB682) für Modelle mit 25 / 50 mm-Messbereich: 02ADN370 (Gewindebuchse: 02ADN371, Befestigungsmutter: 02ADB692) Hier handelt es sich um eine Kombination aus Gewindebuchse und Befestigungsmutter. • Spannschlüssel für Modelle mit 10 mm-Messbereich: 02ADB683 für Modelle mit 25 / 50 mm-Messbereich: 02ADB693 Zum Festziehen ist gegebenenfalls ein Spannschlüssel erforderlich. Bei Verwendung mehrerer Messgeräte sind für jedes davon ein Gewindebuchse-Befestigungssatz und ein Spannschlüssel erforderlich. • Verlängerungsleitung 5 m: 21HZA197 10 m: 21HZA198 20 m: 21HZA199 Hinweis 4: Bis zu 3 Stück, maximal 20 m, können angeschlossen werden. • Adapterstecker Anschluss an EH-101P/102P: 21HZA195 Anschluss an EH-102Z: 21HZA196 Phase-A/B/Z mit Bezugspunktmarkierung Anschluss Anschlussleitung (2 m) HR10A-10P-10P (HIROSE) 43 ø14,7 Einheit: mm Video
13 TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. 542-190 542-191 542-192 542-193 542-194 542-195 542-196 542-197 Messbereich 10 mm 25 mm 50 mm Auflösung 1 µm 0,5 µm 0,1 µm 1 µm 0,5 µm 0,1 µm 1 µm 0,5 µm Messgenauigkeit (20 °C) L=beliebige Messlänge (mm) 1,5+L /50 µm 0,8+L /50 µm 1,5+L /50 µm 0,8+L /50 µm 1,5+L /50 µm Genauigkeit im Nahbereich 0,5 µm (beliebiger 20 µm-Bereich) Wiederholpräzision: 2 (20 °C) 0,3 μm Referenzmarkenwiederholpräzision: (20 °C) ≤0,5 µm (bei einer konstanten Bezugspunkt-Durchlaufgeschwindigkeit von weniger als 300 mm/s in der gleichen Richtung) Messkraft Messkolben abwärts max. 1,4 N max. 4,6 N max. 5,7 N Messkolben horizontal max. 1,3 N max. 4,3 N max. 5,3 N Messkolben aufwärts max. 1,2 N max. 4,0 N max. 4,9 N Positionserkennungsmethode optischer Linear Encoder (Durchlicht) Max. Ansprechgeschwindigkeit 1500 mm/s 400 mm/s 1500 mm/s 400 mm/s 1500 mm/s Ausgangssignal 90° Phasendifferenz, Differentialrechteckwelle (entspricht RS-422A) Minimale Flankenabstände 500 ns (2 MHz) 250 ns (4 MHz) 500 ns (2 MHz) 250 ns (4 MHz) 500 ns (2 MHz) 250 ns (4 MHz) Ausgangssignalstärke 4 µm 2 µm 0,4 µm 4 µm 2 µm 0,4 µm 4 µm 2 µm Referenzmarkenposition (Phase-Z) ca. 3 mm von der Messeinsatzspitze (niedrigster Ruhepunkt) ca. 5 mm von der Messeinsatzspitze (niedrigster Ruhepunkt) Masse ca. 260 g ca. 300 g ca. 400 g Messeinsatz ø3 mm-Hartmetallspitze (Befestigungsschraube: M2,5 (P=0,45) × 5), Standardmesseinsatz: 901312 Einspannschaft ø8 mm ø15 mm Lager Modell mit Linearkugellager Länge der Ausgangsleitung 2 m (direkt vom Gehäuse) Anschluss Stecker: HR10A-10P-10P (HIROSE), kompatible Buchse: HR10A-10R-10S (HIROSE), kompatibler Anschluss: HR10A-10J-10S (HIROSE) Betriebstemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche 0 bis 50 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Lagertemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Standardzubehör Schlüssel für Messeinsatz: 538610 Schlüssel für Messeinsatz: 210187 542-190/542-191/542-192 542-193/542-194/542-195 542-196/542-197 45,9 (13,3) 12 5 14,5 9,5 4 Gewindebuchse 02ADB681 Befestigungsmutter 02ADB682 M9,5×0,5 Abmessungen mit einer installierten Gewindebuchse (Sonderzubehör) ø9,50 -0,015 17,3 6 ø80 -0,009 M9,5×0,5 Leitungslänge=2 m 14,8 (15,4) 43 ø14,7 61,5 34 12,3 75,7 14 46,9 6,9 (129,5) 0,6 (Schraubenhöhe) (Befestigungsgewinde für Gewindebuchse) Hub 10,6 oder länger 84,1 (24,2) 21 4,5 18,5 9 5 Gewindebuchse 02ADN371 M18×1 ø18 0 -0,018 30,7 ø150 -0,011 M14×0,5 Leitungslänge=2 m 20 (20,6) 43 ø14,7 61,7 34 114,7 22 93,6 6,5 (208,3) 13,8 8,6 Befestigungsmutter 02ADB682 0,6 (Schraubenhöhe) (Befestigungsgewinde für Gewindebuchse) Hub 26 oder länger Abmessungen mit einer installierten Gewindebuchse (Sonderzubehör) 124,9 (24,2) 21 4,5 18,5 9 5 M18×1 ø180 -0,018 56,1 ø150 -0,011 M14×0,5 0,6 20 (20,6) 43 ø14,7 61,7 34 174 29,6 6 (316) 142 8,6 13,8 Gewindebuchse 02ADN371 Befestigungsmutter 02ADB682 Leitungslänge=2 m (Schraubenhöhe) (Befestigungsgewinde für Gewindebuchse) Hub 51,5 oder länger Abmessungen mit einer installierten Gewindebuchse (Sonderzubehör) ABMESSUNGEN Einheit: mm ANWENDUNGSBEREICHE Ebenheit smes sung für Bat terien Prüfung der Eins teck tiefe T is chpositionierung
14 kompak te Anzeige der E J -Serie*3 Multifunk tions -Anzeige EH -Anzeige*2 *1 Der USB-Ausgang der EH-Anzeige ist speziell für SENSORPAK vorgesehen. *2 Für den Anschluss an die EH-Anzeige ist ein Adapterstecker erforderlich. *3 Herkömmliche Messgeräte können mit Adapterleitungen angeschlossen werden. (Bitte kontaktieren Sie uns bezüglich Details zu anschließbaren Messgeräten.) R S -232 2- phasige Rechteckwelle indu s trielle s I F/ IO USB R S -232C / USB*1 LG10 0-S erie Messung Anzeige – industrielle Schnittstelle SPS Datenverwaltung P C SP S Ermöglichung von Echtzeitmessung und Datenverwaltung Systemkonfiguration LG20 0-S erie
15 • schlankeres Gehäuse mit ca. 1/5 des Querschnitts von 542-190 (LG100) • hochgenauer Messtaster für den Einsatz in Inline-Systemen und Messräumen • gewährleistet Wiederholpräzision (2σ) im gesamten Messbereich und Genauigkeit im Nahbereich • Schutzart IP67G, Beschaffenheit aus schmiermittelfesten Materialien und verbesserte Gleiteigenschaften – interne Tests ergaben mindestens 100 Millionen Verfahrbewegungen Funktionsfähigkeit • Die Messtaster können an eine kompakte Anzeige (EJ-Anzeige) angeschlossen werden, die für den Inline-Einsatz oder den Einbau in ein Gerät geeignet ist, oder an eine Multifunktions-Anzeige (EH-Anzeige)*1, die für den Einsatz in Messräumen geeignet ist. *1 Ein Adapterstecker ist erforderlich. SERIE 542 – schlanke Bauform LG200 542-186/542-187/542-188 Anschluss Sonderzubehör • Pneumatikantrieb: 02ADE230 Hinweis 1: erforderlicher Luftdruck: 2 bis 4 bar (bei einem Modell mit 0,1 µm-Auflösung: 2 bar) Hinweis 2: Messkolben fährt aus, wenn Luft zugeführt wird Gewindebuchse-Befestigungssatz/ Spannschlüssel （79,3） 30 20,4 43 14.7 （500） HR10A-10P-10P (HIROSE) 542-186/542-187/542-188 • Faltenbalg: 21HAA331 (Ersatzteil) • Gewindebuchse-Befestigungssatz: 02ADB680 (Gewindebuchse: 02ADB681, Befestigungsmutter: 02ADB682) Hier handelt es sich um eine Kombination aus Gewindebuchse und Befestigungsmutter. • Spannschlüssel: 02ADB683 Zum Festziehen ist gegebenenfalls ein Spannschlüssel erforderlich. Bei Verwendung mehrerer Messgeräte sind für jedes davon ein Gewindebuchse-Befestigungssatz und ein Spannschlüssel erforderlich. Einheit: mm TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. 542-188 542-187 542-186 Messbereich 10 mm Auflösung 0,1 µm 0,5 µm 1 µm Messgenauigkeit (20 °C) (0,8+L/50) µm L=beliebige Messlänge (mm) (1,5+L/50) µm L=beliebige Messlänge (mm) Genauigkeit im Nahbereich 0,5 µm (beliebiger 20 µm-Bereich) Wiederholpräzision: 2 (20 °C) 0,3 μm Messkraft Messkolben abwärts max. 0,8 N Messkolben horizontal max. 0,75 N Messkolben aufwärts max. 0,7 N Positionserkennungsmethode optischer Linear Encoder (Durchlicht) Max. Ansprechgeschwindigkeit 400 mm/s 1500 mm/s Ausgangssignal 90° Phasendifferenz, Differentialrechteckwelle (entspricht RS-422A) Minimale Flankenabstände 250 ns (4 MHz) 500 ns (2 MHz) Ausgangssignalstärke 0,4 µm 2 µm 4 µm Masse ca. 210 g Messeinsatz ø3 mm-Hartmetallspitze (Befestigungsschraube: M2,5 (P=0,45) × 5), Standardmesseinsatz: 901312 Einspannschaft ø8 mm Lager Modell mit Linearkugellager Länge der Ausgangsleitung ca. 2,5 m (direkt vom Gehäuse) Anschluss Stecker: HR10A-10P-10P (HIROSE), kompatible Buchse: HR10A-10R-10S (HIROSE), kompatibler Anschluss: HR10A-10J-10S (HIROSE) Betriebstemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche 0 bis 50 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Lagertemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Standardzubehör Schlüssel für Messeinsatz: 538610 • Verlängerungsleitung 5 m: 21HZA197 10 m: 21HZA198 20 m: 21HZA199 Hinweis 3: Bis zu 3 Stück, maximal 20 m, können angeschlossen werden. • Adapterstecker Anschluss an EH-101P/102P: 21HZA195 Anschluss an 542-073: 21HZA196 Hinweis: Der Anschluss an EH-102Z ist möglich, allerdings ist die Funktion der Bezugspunkterkennung deaktiviert. Beispiel für eine benutzerdefinierte Bestellung (Sonderanfertigung) • Änderung der Messkraft • Änderung der Leitungslänge (weniger als 2 m) • Anschlusswechsel Befestigungsgewinde für Gewindebuchse M9,5×0,5 Hub 10,6 oder länger Faltenbalg ø8－0,009 0 14 6,5 73,1 ø12 125,5 M9,5×0,5 Befestigungsmutter Gewindebuchse 02ADB682 02ADB681 44,9 Abmessungen mit einer installierten Gewindebuchse 5 14,5 9,5 4 (13,3) 12 ø 9,5 0 －0,015 ABMESSUNGEN Einheit: mm Video Phase-A/B
16 • Die Taster dieser Serie haben neben einer sehr hohen Genauigkeit eine Auflösung von 0,01/0,005 µm (je nach Modell), die praktisch der Leistung eines Laserinterferometers entspricht, und verfügen über einen großen Messbereich von 10 mm. • Das kompakte Gehäuse trägt wesentlich zum platzsparenden Design dieses Messgeräts bei, das sich bestens für die Kalibrierung/ Bewertung von Master Gauges (Urlehren) sowie für die Messung hochpräziser Teile und als Längenmesssensor in hochpräzisen Positionier-/Steuerungseinheiten eignet. • Für Anwendungen, welche die Messung empfindlicher Werkstücke erfordern, steht ein Modell mit geringer Messkraft zur Verfügung. • Jedes Messgerät der LGH-Serie wird mit einer zugehörigen Anzeige geliefert. ABMESSUNGEN TYPISCHE ANWENDUNGSBEISPIELE SERIE 542 – hohe G e n a u i g k e i t / Auflösung LGH Einheit: mm • Dieses Modell ist mit einem neu entwickelten optischen reflektierenden Linearmaßstab ausgestattet, der eine hervorragende Auflösung von 0,01 µm, eine Messgenauigkeit von 0,2 µm und einen Messbereich von 10 mm zu einem günstigen Preis bietet. • Die maximale Betriebsgeschwindigkeit wurde um den Faktor 2,8 verbessert (250 mm/s → 700 mm/s), wobei die sehr hohe Genauigkeit beibehalten wurde. • Dieses Modell ist mit einem neu entwickelten ultrahochpräzisen Durchlicht-Linearmaßstab ausgestattet, der die herausragende Auflösung von 0,005 µm (5 nm) erreicht. • Der große Messbereich von 10 mm sorgt für eine außergewöhnliche Messgenauigkeit von 0,1 µm. Die Messtaster dieser Serie eignen sich am besten für die Kalibrierung/Bewertung von Master Gauges (Urlehren), wobei ihr großer Messbereich ein großer Vorteil ist. Messtaster 542-720 Messtaster 542-715 spezielle Anzeige Befestigung des Netzkabels (Neigungswinkel bei Ausstattung mit Ständer) 144 148,2 11,2 137 7,5 138 68 156 (mit Ständer ausgestattet) 72 (mit Messständer ausgestattet) 75,1 (mit Faltenbalg ausgestattet) 97 ca. 10º Leitung (2 m) Anschluss (abnehmbar) Einspannschaftdurchm. zur Fixierung Hartmetallspitze, Sø3 901312 Anschluss für Drahtabheber 542-716 (geringe Messkraft) LGH-1010C-B-EH nicht mit Faltenbalg ausgestattet 542-715 (Standard) LGH-1010-B-EH (37,6) (25) * ø 4,8 ø 10,4 10,5 63,3 ø 15h6 0 -0,011 40 18 20 10 148,3 (14) 85 25 R20 542-720 (Standard) LGH-0510-B-EH Anschluss für Drahtabheber Hartmetallkugel SR5 120058 Leitung (2 ｍ) 542-721 (geringe Messkraft) LGH-0510C-B-EH nicht mit Faltenbalg ausgestattet (Hublänge) (Einspannschaftdurchm.) 10 40 18 20 145,9 25 (Schaftlänge) 10,5 60,9 85 45,4 19,4 ø 15h6 0 -0,011 542-716 542-721 spezielle Anzeige (Satz) Kalibrierung/ Bewertung von Master Gauges Inspektion von hochpräzisen Teilen Beispiel der Befestigung des Nadelmesseinsatzes * minimaler Biegeradius oder minimales Abrichtmaß
17 TECHNISCHE DATEN Ausführung Modell mit Auflösung 0,01 µm/ Genauigkeit 0,2 µm Bestell-Nr. 542-715 (Standard) 542-716 (geringe Messkraft) Messbereich 10 mm Auflösung 0,01 µm (0,05 µm, 0,1 µm, 0,5 µm und 1 µm können mit der Anzeige ausgewählt werden) Messgenauigkeit (20 °C)*1 0,2 µm Wiederholpräzision (20 °C)*1 0,1 µm (2σ) Messwertumkehrspanne (20 °C)*1 0,1 µm Messkraft Messkolben abwärts max. 0,65 N ca. 0,12 N Messkolben horizontal max. 0,55 N nicht kompatibel Messkolben aufwärts max. 0,45 N nicht kompatibel Positionserkennungsmethode optischer reflektierender Linearmaßstab Erkennbare Betriebsgeschwindigkeit b e i n o r m a l e r M e s s u n g : 7 0 0 m m / s ; z u r S p i t z e n w e r t e r k e n n u n g : 1 2 0 m m / s Gewicht des Messtasters ca. 370 g Messeinsatz Hartmetallspitze, Sø3 mm (M2,5 (P=0,45) × 5 mm), Standardmesseinsatz 901312 Einspannschaft ø15 mm Lager Modell mit Linearkugellager Länge der Ausgangsleitung ca. 2 m Betriebstemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche 0 bis 40 °C (Referenztemperatur 20 °C) / relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 % (nicht kondensierend) Lagertemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C / relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 % (nicht kondensierend) Anzeigen – Technische Daten Anzeigebereich ±999,99999 mm Funktionen Nullstellung, Voreinstellung, Richtungsschalter, Grenzwertbeurteilung (3 Schritte/ 5 Schritte), RS-LINK Spitzenwert-Haltefunktion Ja Schnittstelle RS-232C, USB (nur für SENSORPAK), Digimatic (Drucker: DP-1VA LOGGER)*3, E/A-Anschluss Externe Ausgabe • RS-232C: Zähldaten • Digimatic-Ausgabe: Zähldaten* 3 • E/A-Anschluss: Zähldaten (vereinfachtes BCD), Ergebnis der Grenzwertbeurteilung, vereinfachter Analogausgang Externe Steuerungsmöglichkeiten Nullstellung, Voreinstellung, Datenspeicherung, Auswahl des Spitzenwertmessmodus, Löschen des Spitzenwerts Netzanschluss mitgeliefertes Netzteil, oder +12 bis 24 V DC, max. 700 mA Leistungsaufnahme 8,4 W (max. 700 mA), mindestens 1 A Stromversorgung pro Einheit muss sichergestellt werden Gewicht der Anzeigen ca. 900 g (ohne Netzteil) Standardzubehör Spannschlüssel für den Messeinsatz, Faltenbalg, Ständer, Unterlegscheibe (für die Anzeige), Netzteil, Netzkabel, Gleichstromstecker, Bedienungsanleitung, Prüfzertifikat Ausführung Modell mit Auflösung 0,005 µm/ Genauigkeit 0,1 µm Bestell-Nr. 542-720 (Standard) 542-721 (geringe Messkraft) Messbereich 10 mm Auflösung 0,005 µm (0,01 µm, 0,05 µm und 0,1 µm können mit der Anzeige ausgewählt werden) Messgenauigkeit (20 °C)*1 0,1 µm Wiederholpräzision (20 °C)*1 0,02 µm (2σ) Messwertumkehrspanne (20 °C)*1 0,05 µm Messkraft Messkolben abwärts max. 0,65 N ca. 0,1 N Messkolben horizontal max. 0,55 N nicht kompatibel Messkolben aufwärts max. 0,45 N nicht kompatibel Positionserkennungsmethode Durchlicht-Linearmaßstab mit höchster Genauigkeit Erkennbare Betriebsgeschwindigkeit bei normaler Messung: 250 mm/s Gewicht des Messtasters ca. 370 g Messeinsatz Hartmetallkugel SR5 (M2,5 (P=0,45) × 5 mm), Standardmesseinsatz 120058 Einspannschaft ø15 mm Lager Modell mit Linearkugellager Länge der Ausgangsleitung ca. 2 m Betriebstemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche 15 bis 25 °C (Referenztemperatur 20 °C) /relative Luftfeuchtigkeit 30 bis 60 % (nicht kondensierend) Lagertemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C/ 20 bis 80 % (nicht kondensierend)*2 Anzeigen – Technische Daten Anzeigebereich ±99,999995 mm Funktionen Nullstellung, Voreinstellung, Richtungsschalter, Grenzwertbeurteilung (3 Schritte/ 5 Schritte), RS-LINK Spitzenwert-Haltefunktion Nein Schnittstelle RS-232C, USB (nur für SENSORPAK), Digimatic (Drucker: DP-1VA LOGGER)*3, E/A-Anschluss Externe Ausgabe • RS-232C: Zähldaten • Digimatic-Ausgabe: Zähldaten* 3 • E/A-Anschluss: Zähldaten (vereinfachtes BCD), Ergebnis der Grenzwertbeurteilung, vereinfachter Analogausgang Externe Steuerungsmöglichkeiten Nullstellung, Voreinstellung, Datenspeicherung Netzanschluss mitgeliefertes Netzteil, oder +12 bis 24 V DC, max. 700 mA Leistungsaufnahme 8,4 W (max. 700 mA), mindestens 1 A Stromversorgung pro Einheit muss sichergestellt werden Gewicht der Anzeigen ca. 900 g (ohne Netzteil) Standardzubehör Spannschlüssel für den Messeinsatz, Faltenbalg, Ständer, Unterlegscheibe (für die Anzeige), Netzteil, Netzkabel, Gleichstromstecker, Bedienungsanleitung, Prüfzertifikat *1 bei Verwendung mit Anzeige *2 Die Lagertemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereiche nach dem Auspacken entsprechen den Betriebstemperatur-/ Luftfeuchtigkeitsbereichen. *3 Die Digimatic-Ausgabe umfasst bis zu 6 Stellen der Daten. Bei Daten mit 7 oder mehr Stellen werden nicht alle Stellen auf dem Display ausgegeben. Sonderzubehör Messständer: 971750 • Lösen mit Dämpfer: 971753 • E/A-Ausgangsanschluss: 02ADB440 • SENSORPAK: 02NGB070 * Weitere Informationen finden Sie auf Seite 38. • Faltenbalg: 238772 (Ersatz für 542-715 und 542-720) Bohrung zur Messgerätemontage ø15H7 25 (350) 100 250 ø 50 34-175 (max. Messbereich LGH-1010: 0–137 mm) 300 110 80 270 Einstellknopf für die Rücklaufgeschwindigkeit 500 ø24 12 (Hub) 43 Einheit: mm Einheit: mm
18 38,7 15,2 6,2 66,2 26 146,1 35 17,4 ø8 7,6 ø10,9 25 0 -0,009 Faltenbalg Einheit: mm ABMESSUNGEN Anschluss Sonderzubehör • Faltenbalg (Ersatzteil): 238774 • Pneumatikantrieb (metrisch): 903594 • Pneumatikantrieb (Zoll): 903598 • SPC-Kabel-Verlängerungsadapter: 02ADF640 • Verlängerungsleitung für DigimaticMessgeräte (0,5 m): 02ADD950 • Verlängerungsleitung für DigimaticMessgeräte (1 m): 936937 • Verlängerungsleitung für DigimaticMessgeräte (2 m): 965014 Hinweis: Für den Anschluss einer Verlängerungsleitung ist ein SPC-KabelVerlängerungsadapter erforderlich. Beispiel für eine benutzerdefinierte Bestellung (Sonderanfertigung) • Änderung der Messkraft • Änderung der Leitungslänge • Anschlusswechsel • Der Maßstab ABSOLUTE mit elektrostatischer Kapazität ermöglicht den Erhalt des Bezugspunkts auch, wenn die Stromversorgung ausgeschaltet ist. • ausgezeichneter Schutz gegen Staub und Spritzwasser (IP66) in der Fertigungsumgebung SERIE 575 – Modell mit Digimatic-Ausgabe LGS-1012P Einheit: mm Einheit: in 575-303 37 8,6 20 Digimatic TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. 575-303 Messbereich 12,7 mm Auflösung 10 µm Messgenauigkeit (20 °C) 15 µm Messkraft Messkolben abwärts max. 2,0 N Messkolben horizontal max. 1,8 N Messkolben aufwärts max. 1,6 N Positionserkennungsmethode ABSOLUTE-Linearmaßstab mit elektrostatischer Kapazität Ansprechgeschwindigkeit unbegrenzt (gilt nicht für Scan-Messung) Ausgang Digimatic-Ausgang Masse ca. 190 g IP-Schutzart entspricht IP66 (nur Messtaster) Messeinsatz ø3 mm-Hartmetallspitze (Befestigungsschraube: M2,5 (P=0,45) × 5), Standardmesseinsatz: 901312 Einspannschaft ø8 mm Lager mit Gleitlager Länge der Ausgangsleitung 2 m (direkt verlängert vom Hauptgerät) Betriebstemperatur-/Luftfeuchtigkeitsbereiche 0 bis 40 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Lagertemperatur-/Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Unité de mesure : in Unité de mesure : mm 575-313 575-303 3/8 0,25 (5,66) (2,03) 1,46 0,57 2,61 1,02 0,98 0,30 0,69 1,38 0,24 35 7,6 17,4 25 7,3 (146,1) 26 (53,9) 66,2 6,2 15,2 38,7 ø 8 0 -0,008 575-313 Bestell-Nr. 575-313 Messbereich 0,5 in Auflösung 0,0005 in Messgenauigkeit (20 °C) 0,0008 in Messkraft Messkolben abwärts max. 2,0 N Messkolben horizontal max. 1,8 N Messkolben aufwärts max. 1,6 N Positionserkennungsmethode ABSOLUTE-Linearmaßstab mit elektrostatischer Kapazität Ansprechgeschwindigkeit unbegrenzt (gilt nicht für Scan-Messung) Ausgang Digimatic-Code Masse ca. 190 g IP-Schutzart entspricht IP66 (nur Messtaster) Messeinsatz ø3 mm-Hartmetallspitze (Befestigungsschraube: 4–48 UNF), Standardmesseinsatz: 21BZB005 Einspannschaft ø9,52=3/8 Zoll Durchm. Lager mit Gleitlager Länge der Ausgangsleitung 2 m (direkt verlängert vom Hauptgerät) Betriebstemperatur-/Luftfeuchtigkeitsbereiche 0 bis 40 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) Lagertemperatur-/Luftfeuchtigkeitsbereiche -10 bis 60 °C (relative Luftfeuchtigkeit 20 bis 80 %, nicht kondensierend) 575-303
19 Sonderzubehör – Pneumatikantrieb Technische Daten der Messtaster (Zubehör) • Ausfahren oder Einziehen des Kolbens eines Messtasters mithilfe eines Pneumatikzylinders • Möglichkeit der automatischen Messung durch den Einsatz eines Magnetventils für LGS: 903594 (mm), 903598 (in) für 25 mm LG100: 02ADE250 für 50 mm LG100: 02ADE270 für 10 mm LG100/LG200: 02ADE230 pneumatische Hubeinheit (LGS) Einheit: mm Einheit: mm Einheit: mm TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. 903594 903598 02ADE230 02ADE250 02ADE270 Messbereich 10 mm 0,4 in 10 mm 25 mm 50 mm Kompatibler Messtaster LGS-1012P LG100/LG200-Serie (nur 10 mm) Druckluftzufuhr 5 bar 2 bis 4 bar (bei Modell mit 0,1 µm-Auflösung: 2 bar)* Masse 60 g 150 g 250 g 300 g * Je nach Einsatzumgebung und -bedingungen kann ein Übergeschwindigkeitsfehler auftreten. Im Falle eines Fehlers müssen Sie den Luftdruck und die Durchflussmenge anpassen. (95) 71,5 (17,2) ø12 ø13 18 37 19 AUS EIN 6,5 6 13 31 42 ø6 1 7 （84） 15 54,4 15 11,4 8,8 14 （83,6） 28 mi t anges ch l os senem LG100-Ger ät Geschwindigkeits-Controller Luftzufuhrschlauch Luftzylinder mit eingebautem Magneten aus der CDJ2-Serie von SMC (Rohr-ID: 10 mm) Ein von SMC hergestellter Automatikschalter (Bandmontage-Typ) ist verfügbar, z. B. D-C73 (SMC). [Zubehör] Innensechskantschraube M5×25 Unterlegscheibe (Zylinderhub) Status: Luftzufuhr AUS Status: Luftzufuhr AN (10,5) 10 oder mehr (Hub) LG-Klemmschraube (mit Innensechskantkopf M4x12) Verlängerungsstange (Zubehör) （109） 14 15 6,3 14,8 77,6 41,5 12,5 11 21 18 46 （25,5） 30 (Zylinderhub) （119,2） 4,5 15 7 20 42 ø6 AUS EIN mit angeschlossenem LG100-Gerät LG-Klemmschraube mit Innensechskantkopf M5x12 ( ) Status: Luftzufuhr AUS Status: Luftzufuhr AN Geschwindigkeits-Controller Luftzufuhrschlauch Ein von SMC hergestellter Automatikschalter (Bandmontage-Typ) ist verfügbar, z. B. D-C73 (SMC). Luftzylinder mit eingebautem Magneten aus der CDJ2-Serie von SMC (Rohr-ID: 16 mm) [Zubehör] Innensechskantschraube M5×25 Unterlegscheibe 25 oder mehr (Hub) Führung (Zubehör) einfache Unterlegscheibe (Zubehör) O-Ring (Zubehör) （183,1） （158） 15 14,4 14,8 6 6 11 21 46 18 11,5 95,9 66,5 12,5 14 9,1 4 15 7 ø6 （51） 55 (Zylinderhub) AUS EIN Status: Luftzufuhr AUS Status: Luftzufuhr AN mit angeschlossenem LG100-Gerät Luftzufuhrschlauch Geschwindigkeits-Controller Ein von SMC hergestellter Automatikschalter (Bandmontage-Typ) ist verfügbar, z. B. D-C73 (SMC). Luftzylinder mit eingebautem Magneten aus der CDJ2-Serie von SMC (Rohr-ID: 16 mm) [Zubehör] Innensechskantschraube M5×25 Unterlegscheibe LG-Klemmschraube mit Innensechskantkopf M5x12 ( ) O-Ring (Zubehör) einfache Unterlegscheibe (Zubehör) Führung (Zubehör) 50 oder mehr (Hub)
20 Montagevorrichtungen für Messtaster Der normale Schaft bietet den Vorteil eines weiteren Anwendungsbereichs und die Möglichkeit einer leichten Positionskorrektur in axialer Richtung, erfordert jedoch eine geschlitzte Spannvorrichtung oder eine Befestigung mittels Klebstoff. In keinem Fall darf eine zu hohe Kraft auf den Schaft ausgeübt werden. • Das empfohlene Anzugsdrehmoment beträgt 0,4 bis 0,5 Nm. (Beispiel 1) Zu festes Anziehen des Schafts verhindert eine reibungslose Bewegung des Messkolbens. Technische Daten der Messtaster (Zubehör) Montage mit geschlitzter Vorrichtung • Um einen Messtaster mit einem Schaft von 8 mm Durchmesser zu befestigen, muss eine Schaftbuchse mit 9,5 mm Durchmesser verwendet werden. Geschlitzte Montagevorrichtungen E I H G D J F 2-L K C M B A F E H G I D J 2-L K C B A M H D C F G E 2-J I K A B E B A G H D 2-I J C F Normaler Schaft Beispiel der Befestigung mit normalem Schaft Einheit: mm Einheit: mm Einheit: mm Einheit: mm Beispiel 2 7,5 (4,5) 15 30 15 A A′ Schnitt A–A' M4×0,7 15 (9) 10 20 ø10h7 Spalt auf 90 Grad zur Stellschraube eingestellt ＋0,015 0 ø8H7＋0,015 0 ø10h7 0 －0,015 15 (9) 2. 1. 2. 1. Einheit: mm Beispiel 1 7,5 (4,5) 7,5 (4,5) 6 15 30 6 A Schnitt A–A' ø4,5, ø7,5 Tiefe 4,4 16 15 (9) A′ M4×0,7 ø8H7＋0,015 0 Einheit: mm A-2 B-2 Bestell-Nr. 303560 303569 A ø9,5 ø9,5 B 9 14,5 C 15 20 D 20 30 E 23 35 F 5 7 G 11 16 H 8 12 I 1,5 3,25 J 32,5 42,5 K 4,5 7,25 L ø3,4 ø4,5 M M3×0,5 M3×0,5 A-4 B-4 Bestell-Nr. 303562 303571 A ø9,5 ø9,5 B 9 14,5 C 15 15 D 20 22,5 E 40 60 F 3 5 G 30 40 H 15 20 I ø3,4 ø4,5 J M3×0,5 M3×0,5 A-6 B-6 Bestell-Nr. 303564 303573 A ø9,5 ø9,5 B 9 14,5 C 30 40 D 42,5 52,5 E 4 6 F 15 18 G 10 15 H 15 20 I 4,5 7,25 J ø3,4 ø4,5 K M3×0,5 M3×0,5 A-8 B-8 Bestell-Nr. 303566 303575 A ø9,5 ø9,5 B 9 14,5 C 15 15 D 15 20 E 25 40 F 8,5 8,5 G 7,5 10 H 10 20 I 10 15 J 32,5 40 K 4,5 7,25 L ø3,4 ø4,5 M M3×0,5 M3×0,5 546288 ø9,5×15 ø9,5×8,5 546343
21 Montagevorrichtungen für Messtaster Eine Gewindebuchse ist als Option für die Messtaster LG100 und LG200 erhältlich. Die Installation einer Gewindebuchse auf dem Schaft ermöglicht eine direkte Befestigung – und zwar durch Bohren eines einfachen Lochs in einem ausreichend dicken Abschnitt auf der Messtaster-Montagevorrichtung. Befestigung mit Gewindebuchse Gewindebuchse für LG100 / LG200 (10 mm) Technische Daten der Messtaster (Zubehör) Gewindebuchse Schlüssel Befestigungsmutter für LG100 / LG200 (10 mm) Komponenten Gewindebuchse: 02ADB681 Befestigungsmutter: 02ADB682 Schlüssel: 02ADB683 Einheit: mm für LG100 (50 mm) Komponenten Gewindebuchse: 02ADN371 Befestigungsmutter: 02ADB692 Schlüssel: 02ADB693 Einheit: mm für LG100 (25 mm) Komponenten Gewindebuchse: 02ADN371 Befestigungsmutter: 02ADB692 Schlüssel: 02ADB693 Einheit: mm TECHNISCHE DATEN Kompatibles Messgerät LG100/LG200 (10 mm) LG100 (25 / 50 mm) Beestell-Nr. Gewindebuchse-Befestigungssatz* 02ADB680 02ADN370 Gewindebuchse (02ADB681) (02ADN371) Befestigungsmutter (02ADB682) (02ADB692) Schlüssel 02ADB683 02ADB693 Montagelochdurchmesser (nominal) ø 9 , 5 m m ø 1 8 m m Empfohlene Plattendicke (Montageabschnitt) 6 bis 10,5 mm 10 bis 12 mm * Ein Gewindebuchse-Befestigungssatz besteht aus einer Gewindebuchse und einer Befestigungsmutter. Zum Festziehen ist ein spezieller Spannschlüssel erforderlich. Wenn Sie mehrere Messgeräte verwenden möchten, sind die entsprechende Anzahl von Gewindebuchse-Befestigungssätzen sowie ein Spezialschlüssel zu erwerben. Gewindebuchse 02ADN371 (Sonderzubehör) (Sonderzubehör) Befestigungsmutter 02ADB692 M18×1 ø18 0 -0,018 5 9 18,5 4,5 (124,9) 21 (24,2) Hinweis: Der Montageabschnitt sollte eine Stärke von 10 bis 12 mm haben. Mit einer Gewindebuchse und einer Befestigungsmutter kann ein Messgerätehalter einfach durch Bohren eines Ø18 mm-Lochs angebracht werden. Ein Messgerät lässt sich auf diese Weise einfach und sicher befestigen. UNBEDINGT BEACHTEN! Bei der Befestigung einer Gewindebuchse ist darauf zu achten, dass die Buchse zuerst mit einem Spezialschlüssel befestigt werden muss (02ADB693). Eine übermäßige Kraft, die zwischen dem Hauptkörper des Messgeräts und dem Schaft ausgeübt wird, kann das Messgerät beschädigen. HINWEIS Sowohl der Spezialschlüssel (02ADB693) als auch der Gewindeabschnitt M14×0,5 sind für die Montage einer Gewindebuchse vorgesehen. Sie dürfen zu keinem anderen Zweck als der Montage einer Gewindebuchse verwendet werden. Befestigungsmutter Gewindebuchse M18×1 02ADN371 (Sonderzubehör) (Sonderzubehör) 02ADB692 ø18 0 -0,018 5 9 18,5 (84,1) 4,5 (24,2) 21 Hinweis: Der Montageabschnitt sollte eine Stärke von 10 bis 12 mm haben. Mit einer Gewindebuchse und einer Befestigungsmutter kann ein Messgerätehalter einfach durch Bohren eines Ø18 mm-Lochs angebracht werden. Ein Messgerät lässt sich auf diese Weise einfach und sicher befestigen. UNBEDINGT BEACHTEN! Bei der Befestigung einer Gewindebuchse ist darauf zu achten, dass die Buchse zuerst mit einem Spezialschlüssel befestigt werden muss (02ADB693). Eine übermäßige Kraft, die zwischen dem Hauptkörper des Messgeräts und dem Schaft ausgeübt wird, kann das Messgerät beschädigen. HINWEIS Sowohl der Spezialschlüssel (02ADB693) als auch der Gewindeabschnitt M14×0,5 sind für die Montage einer Gewindebuchse vorgesehen. Sie dürfen zu keinem anderen Zweck als der Montage einer Gewindebuchse verwendet werden. M9,5×0,5 Befestigungsmutter Gewindebuchse 4 9,5 14,5 5 (45,9) ø 9,5 02ADB682 12 (13,3) 02ADB681 0 -0,015 Gewindebuchse Befestigungsmutter für LG200 (10 mm) 02ADB681 02ADB682 (44,9) 5 4 9,5 14,5 12 (13,3) M9,5×0,5 ø 9,5 0 -0,015 für LG100 (10 mm) Hinweis: Der Montageabschnitt sollte eine Stärke von 6 bis 10,5 mm haben. Mit einer Gewindebuchse und einer Befestigungsmutter kann ein Messgerätehalter einfach durch Bohren eines Ø9,5 mm-Lochs angebracht werden. Ein Messgerät lässt sich auf diese Weise einfach und sicher befestigen. UNBEDINGT BEACHTEN! Bei der Befestigung einer Gewindebuchse ist darauf zu achten, dass die Buchse zuerst mit einem Spezialschlüssel befestigt werden muss (02ADB683). Eine übermäßige Kraft, die zwischen dem Hauptkörper des Messgeräts und dem Schaft ausgeübt wird, kann das Messgerät beschädigen. HINWEIS Sowohl der Spezialschlüssel (02ADB683) als auch der Gewindeabschnitt M9,5×0,5 sind für die Montage einer Gewindebuchse vorgesehen. Sie dürfen zu keinem anderen Zweck als der Montage einer Gewindebuchse verwendet werden.
22 Sonderzubehör Technische Daten der Messtaster (Zubehör) Signalverlängerungsleitung für LG100/LG200 Befestigungshalter für Anlifthebel Ersatzfaltenbalg Schutz des Kolbenlagers eines Messtasters vor Staub Eine Signalleitung von der Kopf- zur Empfängerschaltung kann verlängert werden. Die maximale Anzahl der anschließbaren Leitungen ist auf 3 und die maximale Gesamtverlängerung auf 20 m begrenzt. benutzerdefinierte Bestellung (Sonderanfertigung): flexible Leitung benutzerdefinierte Bestellung (Sonderanfertigung): anpassbare Leitungslänge Dieser Halter wird zwischen dem Kolben und dem Messeinsatz zur Befestigung des Anlifthebels angebracht. TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. Kompatibler Messtaster 21HAA331 LG100/LG200 (für Modelle mit dem Messbereich 10 mm) 21HZA176 LG100 (für Modelle mit dem Messbereich 25 mm) 21HZA184 LG100 (für Modelle mit dem Messbereich 50 mm) 238774 LGS-1012P TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. 02ADG181 Befestigungshalter 137693 Anlifthebel TECHNISCHE DATEN Bestell-Nr. Leitungslänge 21HZA197 5 m 21HZA198 10 m 21HZA199 20 m Adapter für DIGIMATIC-Signalverlängerungsleitung 02ADF6 4 0, Mas se: 15 g Dieser Adapter kann ver wendet werden, wenn der LGS -1012P- Mes s tas ter an eine Anzeigeeinheit angeschlos sen werden soll, bei der die L änge der mitgeliefer ten Leitung für diese Verbindung nicht ausreicht . • verfügbar für LGS-1012P • verfügbar für EC-101D, EH-102D • Schließen Sie zum Verlängern nicht mehr als ein Teil dieses Produkts an. Einheit: mm 36 100 20,3 Bindungsfalte (Standardzubehör) Verlängerungsleitungsadapter 17 Verlängerungsleitung für DIGIMATIC-Messgeräte Bestell-Nr. Leitungslänge 02ADD950 0,5 m 936937 1 m 965014 2 m Anlifthebel Befestigungshalter Beispiel für die Befestigung des Anlifthebels
23 Sonderzubehör Technische Daten der Messtaster (Zubehör) Montagehalter A, B Messständer Lösen mit Dämpfer Messständer aus Granit BSG-30HX 215-156-10 Messständer BSC-30HX 215-505-10 Dieser Montagehalter ist nützlich, wenn das LGH anstatt auf dem regulären Messständer auf einer alternativen Vorrichtung montiert ist. Halter A 971751 Mas se: 250 g Halter B 971752 Mas se: 180 g Sockel: Material Granit Sockel: Abmessungen (mm) B 250 × T 300 × H 95 Sockel: Ebenheit 3,5 µm Feineinstellung Flachgewinde Schaftgröße (mm) ø20, ø9,53, ø8 mit Buchse LG100 25 mm/50 mm. Bei Verwendung des Ständers mit 25 mm/ 50 mm Hub muss separat eine Buchse mit ø15 (21JAA331) bestellt werden. Sockel: Material gehärteter Stahl, genuteter Messtisch Sockel: Abmessungen (mm) B 179 × T 255 × H 89 (Messtisch □ 150 × H 25) Sockel: Ebenheit 2,3 µm Feineinstellung Flachgewinde Schaftgröße (mm) ø20, ø9,53, ø8 mit Buchse LG100 25 mm/50 mm. Bei Verwendung des Ständers mit 25 mm/ 50 mm Hub muss separat eine Buchse mit ø15 (21JAA331) bestellt werden. Einheit: mm Masse: 25 kg Dieser LGH-Ständer hilft dem Messgerät, hohe Genauigkeit zu erreichen. 971753 Masse: 50 g Einstellknopf für die Rücklaufgeschwindigkeit 500 ø 2 4 12 (Hub) 43 Einheit: mm Einheit: mm ø15H7 für die Montage des Messgeräts 25 (350) 10 0 250 ø5 0 34 bis 175 300 110 80 270 Messständer für Laser Hologauge 971750 Drahtabheber für das LGH. Ein plötzliches Fallen des Messkolbens wird durch den Einstellknopf für die Rücklaufgeschwindigkeit verhindert. MontageReferenzfläche MontageReferenzfläche Montagerichtung Montagerichtung des Messgeräts des Messgeräts Montagefläche der Halterung Montagefläche der Halterung Halterung A (zur Montage auf der Oberseite) Halterung B (zur Montage auf der Unterseite) 50 25 25 37±0,2 15±0,2 45 14,5 23 45 23 ø2–5,5-Durchgangsloch ø9,5 mit einer Senktiefe von 5,5 ø15H7 (Montageloch-ID für das Messgerät) ø15H7 (Montageloch-ID für das Messgerät) M4×0,76-Innensechskantschraube (zum Festklemmen des Messgeräts) M4×0,76-Innensechskantschraube (zum Festklemmen des Messgeräts) 2-M5×0,8, Tiefe 10 12,5 25 25 C2 C2
24 Differential-Rechtecksignal Technische Daten der Messtaster Ausgangs-Pin-Belegung 1) Ausgangsstecker HR10A-10P-10P (HIROSE) 2) Pin-Belegung * Spannungsversorgung an den Messtaster Zeitdiagramm (normal) LG100, Zeitdiagramm unter Anwendung der Bezugspunktmarkierung (normal) Zeitdiagramm (Auftreten eines Fehlers) Tr (min.) 1 µm/0,5 µm (Auflösung) Phase A Phase B A相 B相 Te（最小） Tb（最小）→1µm/0.5µm（最小表示量） A相 B相 1) Echtzeit-Impulsausgabe (Phase-A-Welle wird fortgesetzt, wenn der Kolben zurückgezogen wird.) øZ wird nur mit Bezugspunk t signalen ausgegeben. 1. Ausgabebedingung: Kolbengeschwindigkeit ≤ 250 mm/s*2 2. Minimaler Flankenabstand=Tr 3. Ausgabeverzögerungszeit*1: max. 1 μs 1. Ausgabebedingung: Messtaster erkennen unter den folgenden Bedingungen einen Fehler und erzeugen eine Ausgabe wie oben beschrieben: • Messgerät-Ansprechgeschwindigkeit*3 < Kolbengeschwindigkeit • Bei einer Störung wie Interferenz, Vibration usw. 2. minimale Breite der Ausgangsimpulse=Te *1 A usgabeverzögerungszeit: Dauer bis der Zählimpuls die Kolbenposition erfasst *2 D ie t at s ächliche Grenze der Echt zei t- Impul s au s gabe wird auf die s en Wer t herabge s e t z t . Der Grund dafür i s t , das s die t at s ächlichen Er fas sung s signale unvermeidlich sowohl Be s chleunigung skomponenten in Verbindung mi t der Kolbenbewegung al s auch Fehlerkomponenten au s ein wenig Rau s chen enthal ten , die im Signal s elb s t vorhanden sind. Infolgede s s en können einige Bur s t- Impul s e mi t einer Ge s chwindigkei t unterhalb der idealen Bedingungen (d. h. ideale Signalform bei kons t anter Ge s chwindigkei t) er zeug t werden. *3 Anspre chge s chwindigkei t de s Me s s gerät s: siehe Ab s chni t t zu te chni s chen Daten im Benu t zerhandbuch [ UNBEDINGT BE ACHTEN ] • Da eine Au s gabe während einer Fehlerbedingung nicht al s At tribu tdaten ver wende t werden kann , i s t e s not wendig , die Fehlerbedingung auf der Sei te der Empfang s s chal tung zu erkennen. • Es wird empfohlen , Benu t zer s chal tungen basierend auf einem IC- Chip zu er s tellen , der in der L age i s t , bei minde s tens 5 Mcp s (ent spricht einer Re chte ck welle von 1, 25 MHz) zu zählen. Te Phasen A und B sind synchronisiert (Flanken verändern sich gleichzeitig) Phase A Phase B Minimaler Flankenabstand/Impulsbreite unter jeder Bedingung Modell Auflösung Tr Te Tr (Echt zeit ausgabe) Te (Fehlerausgabe) LG100 1 µm 0,4 µs 0,4 µs 0,5 µm 0,2 µs 0,4 µs 0,1 µm △Xz Xz △Xz: Reproduzierbarkeit der Position des Bezugspunkts (Flankenreproduzierbarkeit) ±σ = ±0,5 µm (bei einer Maßstabsverfahrgeschwindigkeit von weniger als 300 mm/s in derselben Richtung) Xz: Impulsbreite der Bezugspunktsignale = ca. 40 bis 60 µm (Referenz) Phase A Phase B øZ △Xz Modell ( Auf lö sung) LG10 0/LG20 0 (0,1 µm) LG10 0/LG20 0 (0,5 µm) LG10 0/LG20 0 (1 µm) Au s gang s signal 90° Phasendifferenz, Differentialrechteckwelle (entspricht RS-422A) Signalab s t and 0,4 µm 2 µm 4 µm Minimaler Flankenab s t and 250 ns 500 ns Au s gang s signalp egel +5 V (4 , 8 bi s 5 , 2 V, 8 0 mA ) øA , øA , øB, øB: T T L , Lei tung s treib er-Au s gang , AM26L S31 oder glei chwer tig Ste cker t yp HR10A-10 P -10 P (HI ROSE) Kompatible Ans chlu s sbu chs e HR10A-10 R-10 S (HI ROSE) Empfohlener Empfänger Dif ferenzeingang , Lei tung s empfänger, AM26L S32 Länge der Anschlussleitung des Messgeräts 2 m; direk t mi t dem Me s s gerät verbunden Länge der Verlängerungsleitung ma x . 20 m ( Verlängerung s lei tungen von 5 , 10 und 20 m L änge sind erhäl tli ch) Fehlerau s gab e siehe „ Zei tdiagramm ( Auf tre ten eine s Fehler s)“ unten Spannung / Verbrau ch +5 V (Welligkeitsspannung max. 0,2 Vpp) / 80 mA PinBelegung Zuordnung PinBelegung Zuordnung 1 PA 7 N.C. 2 PA 8 PZ 3 N.C. 9 +5 V* 4 PB 10 GND 5 PB Gehäuse FG 6 N.C. 1 8 7 10 6 4 5 3 9 2
25 Digimatic-Code Technische Daten der Messtaster • kompatible Anschlussbuchse: Sumitomo 3M: V Low-Proheader Modell: 7610-5002XX oder gleichwertig • Ausgangsanschlussformat: CK, DATA N-Kanal (Open-Drain) maximaler Ausgangsstrom: max. 400 µA (bei VOL = 0,4 V) Ausgangsstehspannung: -0,3 V bis 7 V 1. Pin-Belegungen und Signale 2. Elektrische E/A-Spezifikationen 4. Zeittabelle 3. Datenformat 10 2 9 1 2 10 1 9 Hinweis: Da die Stromversorgungsspannungen zwischen der Seite des Messgeräts und der Seite des externen Geräts unterschiedlich sind, muss unbedingt ein OpenCollector- oder Open-Drain-Schaltkreis verwendet werden. Verwenden Sie hingegen keinen CMOS-Ausgang oder Ähnliches. d1 d2 d3 d4 d5 d6 d7 d8 d9 d10 d11 d12 d13 Messwert ALLE „F“ Dezimaltrennzeichen (0–5) z. B. 0→000000, 1→00000,0 5→0,00000 Zeichen (+: 0, -: 8) Einheit (mm: 0, Zoll: 1) • Daten werden 13-stellig (52-Bit) basierend auf 4 Bits=1 Ziffer ausgegeben. • Daten werden in der Reihenfolge von d1 bis d13 ausgegeben. Jede Ziffer wird in der Reihenfolge LSB zu MSB ausgegeben. Hinweis 1: Die mit einem Stern (*) gekennzeichneten technischen Daten gelten nur für LGS. Alle anderen Digimatic-Ausgangsspezifikationen sind für alle Modelle gleich. Hinweis 2: Daten nur lesen, wenn CK auf „L“ ist Hinweis 3: G eben Sie das REQ-Signal (fest auf „H“) nicht ein, während der absolute Bezugspunkt gesetzt wird (während t11). Hinweis 4: W enn t5, t6 und t7 erfüllt sind und REQ kontinuierlich eingegeben wird, erhält man eine Ausgabe von LGS in Intervallen von ungefähr 95 ms. Hinweis 5: Beginnen Sie mit der Eingabe von ORIG und REQ zwei oder drei Sekunden nach dem Einschalten (geschätzte Zeit, die benötigt wird, um den internen Schaltkreis/Sensor zu stabilisieren). empfohlenes externes I/F Vcc ・CK, DATA ・REQ, ORIG R1 R1 Tr CMOSEingang R2 Vdd C 74HC14 usw. für Vcc=5 V-System R1, R2=22 KΩ±10 % C=330pF±20 % Tr=NPN, offener Kollektor oder N-Kanal, offener Abfluss (2SC2855 usw.) „L“-Ausgangsspannung VOL=max. 0,2 V (IOL=10 mA usw.) „H“-Kriechstrom: IIK=max. 2 µA (bei VOH=5,5 V) REQ CK DATA t7 t6 t5 t3 t4 t2 t8 t1 ORIG Einstellung des absoluten Bezugspunkts t10 fertiggestellt t11 aktiv • Eingangsanschlussformat: REQ, ORIG Pull-up-CMOS-Eingang Spannung der internen Spannungsversorgung: Vdd = 1,35 bis 1,65 V Pull-up-Widerstand: R1 = 10 bis 100 KΩ „H“-Eingangsspannung: VIH = min. 1,1 V „L“-Eingangsspannung: VIL = max. 0,3 V • Das System verwendet 3 Maßstäbe (Scales) mit einer unterschiedlichen Wellenlänge, wobei auf jeden Maßstab eine absolute Adresse angewendet wird. • Die einzelnen Absolute-Scales innerhalb des Maßstabs werden mit einer absoluten Adresse versehen, so wie Schwellen nummeriert werden. Ein Messwert wird an- gezeigt, indem diese absolute Adresse von einer Schieberposition gelesen wird. Pin-Belegung Signal E/A Beschreibung 1 GND — Betriebserde 2 DATA Ausgang Messdatenausgabe 3 CK Ausgang synchronisierte Uhrzeitanzeige 4* N.C. — nicht belegt 5 REQ Eingang Eingang für eine Datenübertragungsanforderung von einem externen Gerät 6* ORIG Eingang Eingang für das Signal zur Einstellung des absoluten Bezugspunkts 7* N.C. — nicht belegt 8* N.C. — nicht belegt 9* +5 V — Spannungsversorgung (+5 V ± 10 %) 10* GND (F.G.) — Masse/Erdung * LGS ver wende t eine eindeu tige Spezifikation. Alle anderen ver wenden die übliche Digimatic-Au s gang s spezifikation (10 - polig , quadrati s ch). Messtaster-Seite Anzeige-Seite Standard (als Referenz) Bezeichnung min. ma x . t1* 0 2 s t2 15 µ s — t3 10 0 µ s — t4 10 0 µ s — t5 0 — t6* — — t7* — — t8* — — LGS Bezeichnung min. ma x . t1* 3 0 µ s 95 ms t2 15 µ s — t3 10 0 µ s — t4 10 0 µ s — t5 0 µ s — t6* — 10 0 µ s t7* 10 0 µ s — t8* — 3 0 ms t10* 1,5 s — t11* — 4 s • grober Maßstab (COA) • mittlerer Maßstab (MED) • feiner Maßstab (FIN) FIN MED COA ein Zyklus 430,08 mm Auflösung 3,36 mm ein Zyklus 26,88 mm Auflösung 0,21 mm ein Zyklus 1,68 mm Auflösung 0,01 mm Absolute-Scale (ABS-Maßstab mit elektrostatischer Kapazität) • Patent angemeldet (Japan, USA, Großbritannien, Schweiz, Deutschland und Schweden) Q Frage Was ist der absolute Positionsbezugspunkt? Der absolute Positionsbezugspunkt ist der Nullpunkt (0-Punkt), der auch beim Ausschalten der Stromversorgung nie verschwindet. Die LGS-Serie ist mit einem Absolute-Scale (ABS-Maßstab mit elektrostatischer Kapazität) ausgestattet, mit dem der absolute Positionsbezugspunkt festgelegt werden kann, sodass die Position des Messeinsatzes beim erneuten Einschalten der Stromversorgung immer in Bezug auf den letzten Bezugspunkt ausgegeben wird. Dadurch entfällt die Notwendigkeit einer Anpassung mit dem Master bei jedem Einschalten der Stromversorgung und dies trägt erheblich zur Automatisierung der Messung bei. Antwort A
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